
轮廓算术平均偏差(Ra):在取样长度内,轮廓偏距绝对值的算术平均值,是最常用的粗糙度评定参数。
轮廓最大高度(Rz):在一个取样长度内,最大轮廓峰高与最大轮廓谷深之和,反映轮廓的极端起伏。
轮廓单元的平均宽度(RSm):轮廓微观不平度间距的平均值,用于评定表面纹理的疏密程度。
轮廓的偏斜度(Rsk):表征轮廓幅度分布对称性的参数,区分尖峰或深谷占主导的表面。
轮廓的陡度(Rku):表征轮廓幅度分布尖锐程度的参数,用于判断表面是平缓还是尖锐。
轮廓支承长度率(Rmr(c)):在给定水平截距c上,轮廓的实体材料长度与评定长度的比率,与耐磨性相关。
轮廓总高度(Rt):在评定长度内,最大轮廓峰高与最大轮廓谷深之和,反映整个评定长度上的最大粗糙度。
十点高度(Rz ISO):在取样长度内,五个最大轮廓峰高的平均值与五个最大轮廓谷深的平均值之和。
轮廓均方根偏差(Rq):轮廓偏距的均方根值,在统计学上比Ra更敏感。
轮廓微观不平度的平均间距(S):在取样长度内,轮廓微观不平度间距的平均值,侧重于横向间距测量。
机械加工表面:包括车、铣、磨、刨、钻等工艺形成的金属或非金属工件表面。
抛光与研磨表面:经过机械、化学或电解抛光,以及精密研磨获得的超光滑表面。
铸造与锻造表面:金属在铸型中凝固或经锻压成型后形成的原始工艺表面。
增材制造(3D打印)表面:通过逐层堆积材料制造的零件表面,通常具有独特的阶梯状纹理。
涂层与镀层表面:喷涂、电镀、气相沉积等工艺在基体上形成的覆盖层表面。
光学元件表面:透镜、棱镜、反射镜等要求极高面形精度和低粗糙度的表面。
半导体晶圆表面:硅片、化合物半导体等经过切割、研磨、抛光后的超精密表面。
生物医学植入体表面:人工关节、牙科种植体等其表面粗糙度直接影响生物相容性与骨整合效果。
纺织品与纤维表面:纤维单丝或织物表面的微观形貌,影响其手感、光泽和力学性能。
纸张与薄膜表面:各类纸张、塑料薄膜、功能薄膜的微观平整度,影响印刷、贴合等性能。
触针式轮廓法:使用金刚石触针划过表面,将垂直位移转换为电信号,是最经典和标准的方法。
光学干涉法:利用光波干涉原理,通过干涉条纹分析表面形貌,属于非接触测量。
共聚焦显微镜法:利用共聚焦光路排除离焦光,逐点扫描获得高分辨率的三维表面形貌。
白光干涉仪法:利用白光短相干性,通过扫描干涉包络峰值位置来重建表面三维形貌。
原子力显微镜法:利用探针与样品间的原子力进行检测,可达原子级分辨率。
扫描电子显微镜法:利用电子束扫描成像,景深大,可观察复杂形貌,但通常为定性或半定量。
激光散射法:通过分析激光束在粗糙表面的散射光强分布来快速评定粗糙度。
比较样块法:通过视觉观察和触觉感知,将被测表面与已知粗糙度值的标准样块进行比对。
印模法
流体法:通过测量空气或液体在特定条件下流过被测表面与基准面间缝隙的流量来间接评定粗糙度。
触针式表面粗糙度测量仪:便携式或台式设备,核心为导头、触针和传感器,直接输出Ra、Rz等参数。
轮廓仪:通常指具有较长测量范围的触针式仪器,可同时测量宏观轮廓(形状误差)和微观粗糙度。
白光干涉三维表面形貌仪:基于白光干涉原理的非接触式测量系统,可获取高精度的三维表面数据。
激光共聚焦显微镜:结合共聚焦原理和激光扫描技术,实现高分辨率、大景深的三维表面测量。
原子力显微镜
扫描电子显微镜
光学干涉显微镜
便携式激光粗糙度仪
表面粗糙度比较样块
三维光学扫描仪
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