
元素组成鉴定:通过全谱扫描,定性分析样品表面(约10纳米内)存在的所有元素(除H、He外)。
元素化学态分析:通过高分辨窄谱扫描,确定元素的具体化学价态、成键环境及官能团信息。
元素深度分布分析:结合离子溅射,获取特定元素随深度变化的浓度分布曲线。
界面成分分析:分析薄膜与基底之间界面区域的化学成分与化学态变化。
薄膜厚度测量:通过深度剖析数据,非破坏性或破坏性测量超薄薄膜、氧化层或污染层的厚度。
污染层鉴定:识别并分析样品表面吸附的有机污染物、氧化物或加工残留物。
掺杂浓度与分布:测定半导体材料中掺杂元素的浓度及其在深度方向上的分布均匀性。
氧化层/钝化层分析:分析金属或半导体表面氧化层/钝化层的成分、化学态及厚度。
多层膜结构解析:剖析如光学镀膜、硬质涂层等多层薄膜结构中各层的成分与厚度。
失效分析与腐蚀研究:分析材料失效或腐蚀区域的表面与界面化学成分变化,探究失效机理。
半导体材料与器件:分析栅氧层、高k介质、金属互连层、阻挡层及界面污染。
金属与合金材料:研究表面氧化、钝化、腐蚀行为,涂层/镀层成分与结合力。
高分子与聚合物:分析表面改性、接枝、老化后的化学成分与官能团变化。
催化材料:表征催化剂表面活性组分化学态、分散度及反应前后的变化。
纳米材料与薄膜:测定纳米颗粒、二维材料、功能薄膜的表面成分与厚度。
生物医用材料:分析植入体表面改性涂层、蛋白质吸附层及生物相容性涂层成分。
能源材料:如电池电极材料、固态电解质界面膜(SEI)、燃料电池催化剂的表面分析。
陶瓷与玻璃材料:研究表面处理、镀膜后的成分变化以及断裂面的成分信息。
环境与地质样品:分析颗粒物表面吸附物种、矿物表面风化或反应产物。
考古与艺术品:无损或微损分析文物表面涂层、颜料、腐蚀产物及保护材料。
XPS全谱扫描:宽能量范围扫描,用于快速鉴定样品表面存在的所有元素。
XPS高分辨窄谱扫描:对特定元素的核心电子能级进行精细扫描,用于化学态分析。
Ar离子束溅射深度剖析:使用惰性气体离子束逐层剥离样品表面,结合XPS分析,获得成分-深度分布。
角分辨XPS:通过改变光电子的出射角,非破坏性地获取表层(~3nm)和亚表层的成分信息。
C60离子簇溅射深度剖析:使用C60+等团簇离子源,用于有机材料、聚合物等易损伤样品的深度分析。
气体团簇离子束溅射:使用Ar数千原子团簇离子束,实现对生物材料、药物等极度敏感样品的温和深度剖析。
变能XPS深度剖析:通过改变激发X射线的能量来改变探测深度,实现非破坏性深度分析。
成像XPS:通过扫描微束或平行成像方式,获得特定元素或化学态在样品表面的二维分布图。
深度剖析数据拟合与量化:利用专业软件对深度剖析数据进行处理,计算各成分的原子浓度百分比随深度的变化。
溅射速率校准:使用已知厚度的标准样品(如SiO2/Si)校准离子溅射速率,将溅射时间转换为深度坐标。
X射线光电子能谱仪主机:核心设备,包含超高真空系统、X射线源、电子能量分析器和探测器。
单色化Al Kα X射线源:提供高能量分辨率、低背景的激发光源,是化学态精确分析的关键。
双阳极(Al/Mg)X射线源:提供非单色化的Al Kα和Mg Kα射线,可用于卫星峰识别和某些特定应用。
半球形电子能量分析器:用于精确测量光电子的动能,是能谱仪的核心部件,决定能量分辨率。
Ar+离子枪(用于溅射):提供单原子Ar离子束,用于常规无机材料的深度剖析和样品清洁。
C60+ / 气体团簇离子源: 用于有机材料、聚合物、生物样品等易损伤材料的温和深度剖析。
样品台与多维操纵器: 实现样品在X-Y-Z方向及旋转、倾斜的精确定位,支持角分辨分析和成像。
电荷中和系统(电子中和枪): 用于绝缘样品分析时中和表面电荷,避免谱峰偏移和畸变。
快速进样室与样品制备室: 实现样品快速更换,并提供断裂、加热、冷却、蒸镀等原位处理功能。
数据采集与处理计算机系统: 配备专业控制与数据分析软件,用于仪器控制、数据采集、谱图处理和深度剖析计算。
沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。
签订协议:根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节,为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。
样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。
试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。
出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。
我们秉持严谨踏实的态度,提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯,严格遵守保密协议,保障客户满意度与信任度。






