谐振频率偏移：测量谐振器在不同驱动电平下，其固有谐振频率随振幅增大而发生变化的程度，是评估非线性的核心指标。
振幅-驱动响应线性度：表征输出振动振幅与输入电学或光学驱动信号幅度之间的比例关系，理想情况下应为线性。
谐波失真分量：检测输出信号中二次、三次等高次谐波的强度，用于量化由非线性刚度或阻尼引起的信号畸变。
相位噪声变化：评估在不同振荡振幅下，谐振器输出信号的相位稳定性与噪声基底的变化情况。
品质因数（Q值）依赖性：测量谐振器的品质因数是否随振动振幅的增大而发生变化，反映非线性阻尼效应。
双稳态与跳跃现象：检测在特定频率扫描方向上，振幅响应是否出现迟滞和突然跳跃，这是强非线性的典型特征。
频率响应曲线对称性：分析谐振峰在频率轴上的形状是否对称，非对称畸变通常源于非线性效应。
互调失真：通过施加双频驱动信号，测量由于非线性产生的新的频率分量，灵敏度极高。
动态范围线性区间：确定输出振幅与输入驱动保持线性关系的最大范围，即线性动态范围。
温度对线性度的影响：考察环境温度变化对上述各项非线性参数的影响程度，评估器件的温度稳定性。
频率范围：覆盖硅基微谐振器从kHz到GHz级别的典型工作频率，确保测试带宽覆盖谐振峰及边带。
振幅范围：从亚纳米级的热噪声振动到可能导致材料失效或结构非线性的最大安全振动振幅。
驱动电压范围：涵盖从阈值驱动电压到最大允许驱动电压（通常受限于吸合效应或击穿电压）的连续区间。
相位偏移范围：测量从-180度到+180度的完整相位变化范围，特别是在谐振点附近的相位变化梯度。
环境压力范围：在从高真空到常压的不同气压环境下测试，以区分本征非线性与气体阻尼引起的非线性。
温度范围：在指定的工作温度范围（如-40°C至+85°C）内进行测试，评估温度对线性度的扰动。
线性动态范围（dB）：以分贝为单位量化输入/输出保持线性的信号幅度范围，通常要求达到60dB以上。
谐波失真度范围：测量总谐波失真（THD）或单次谐波失真度，范围可从-120dBc直至百分之几。
功率处理能力：测试谐振器在不显著恶化线性度指标的前提下所能承受的最大输入射频或光功率。
多模态耦合范围：对于多模态谐振器，检测不同模态之间因非线性而产生的能量耦合与频率锁定现象。
电学扫频网络分析：使用矢量网络分析仪进行频率扫描，直接测量S参数，获得幅频和相频响应曲线以分析非线性。
激光多普勒测振法：利用激光多普勒测振仪非接触式地直接测量谐振器表面的振动速度与位移，精度极高。
光学干涉测量法：采用迈克尔逊或法布里-珀罗等干涉仪结构，通过检测光程差变化来反演纳米级振动位移。
频域谱分析方法：对谐振器的输出信号进行高分辨率频谱分析，精确测量基波与各次谐波分量的功率。
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