传送速度稳定性：检测基片在传送过程中速度的波动情况，确保匀速运动以避免镀膜厚度不均。
定位重复精度：测量基片每次停止在镀膜工位时，其实际位置与目标位置之间的偏差。
传送轨迹直线度：评估基片传送路径的直线性偏差，防止因轨迹弯曲导致基片与腔体发生碰撞或刮擦。
系统真空泄漏率：检测传送系统及其连接部件在真空环境下的密封性能，确保维持工艺所需的高真空度。
机械振动与噪音：监测传送系统运行时的振动幅度和噪音水平，过大的振动会影响定位精度和膜层质量。
传动部件磨损度：检查导轨、丝杠、轴承等关键传动部件的磨损情况，预测其使用寿命和可靠性。
负载能力测试：验证传送系统在满载基片（最大设计负载）情况下，各项性能指标是否仍能满足要求。
启停特性分析：分析系统启动加速和停止减速过程的平稳性与响应时间，避免对基片产生冲击。
同步性检测：对于多轴或多臂协同工作的传送系统，检测各运动单元之间的同步精度与协调性。
电气安全与绝缘：检查驱动电机、传感器等电气部件的绝缘电阻和接地性能，确保系统操作安全。
装载/卸载舱室：检测该区域传送机构的对接精度、门阀联锁功能以及大气与真空过渡的稳定性。
传输通道：覆盖连接各工艺腔室的直线或弯道传送路径，检测其全程的顺畅度与密封性。
工艺处理腔室内部：重点检测在镀膜、蚀刻等工艺腔内，传送机构在高温、等离子体等严苛环境下的运行状态。
基片托盘/卡匣：检测承载基片的托盘或卡匣的尺寸精度、平面度以及与传送机械手的配合公差。
机械手末端执行器：检测机械手抓取基片的吸盘或叉齿的平整度、真空吸附力及对位精度。
线性运动模组：包括导轨、丝杠、滑块等组成的直线运动单元，检测其行走精度和刚性。
旋转运动机构：检测用于基片旋转或转向的转台、摆臂等机构的回转精度和角度重复性。
传感器系统：覆盖位置传感器（光电、磁栅）、真空计、压力传感器等，检测其信号准确性与响应速度。
控制系统与软件：检测运动控制程序的逻辑正确性、人机界面交互性以及故障诊断功能的完备性。
外围辅助设备：包括与传送系统联动的挡板阀、隔离阀、烘烤装置等，检测其协同工作的时序与可靠性。
激光干涉仪测量法：使用激光干涉仪高精度测量传送机构的定位精度、重复定位精度和直线度。
千分表/电容测微仪接触测量：利用接触式探头直接测量机械部件的位移、振动或平面度。
氦质谱检漏法：向系统充入氦气，使用氦质谱检漏仪精准定位并量化真空泄漏点及其泄漏率。
高速摄影分析：通过高速摄像机记录传送动作全过程，事后逐帧分析运动平稳性、抖动及同步情况。
振动频谱分析法：使用加速度传感器采集振动信号，通过频谱分析判断振动来源及评估其对工艺的影响。
标准量块与塞规比对法：使用标准尺寸的量块和塞规，手动检验导轨间距、托盘尺寸等静态几何参数。
程序模拟与空跑测试：在不放入实际基片的情况下，运行完整或分段的生产程序，检验逻辑与联动功能。
粒子计数器监测法：在传送系统运行期间，使用粒子计数器监测关键区域空气中颗粒物的数量，评估洁净度。
负载模拟测试法：使用配重块或模拟基片代替真实产品，进行长期循环运行测试，考核系统耐久性。
电气参数在线监测法：通过数据采集卡实时监测电机电流、驱动器温度、传感器信号等电气参数，判断状态。
激光干涉仪系统：用于纳米级精度的线性定位、角度和直线度测量的核心光学设备。
坐标测量机：用于对机械手末端执行器、托盘等部件进行三维空间尺寸和形位公差的精密测量。
氦质谱检漏仪：高灵敏度真空检漏设备，是查找和定量真空系统微小泄漏点的必备工具。
高速摄像机
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