
线路宽度:测量导电线路在基板上的实际物理宽度,是评估线路加工精度的核心指标。
线路间距:测量相邻两条导电线路边缘之间的最小距离,对防止电气短路至关重要。
线边粗糙度:评估线路边缘的平滑度或锯齿状起伏程度,影响信号传输性能和阻抗控制。
侧壁角度:测量线路截面侧壁与基板平面的夹角,反映刻蚀或电镀工艺的垂直度。
线路高度/厚度:测量线路在垂直方向上的尺寸,直接影响线路的载流能力和电阻。
线宽均匀性:评估同一批次或同一面板内不同位置线路宽度的变化范围。
缺口与毛刺检测:识别线路边缘存在的局部缺失或异常凸起等缺陷。
过孔直径与位置度:测量层间连接孔的直径及其相对于设计位置的偏差。
焊盘尺寸与形状:测量用于焊接元件的焊盘区域的几何尺寸和形状完整性。
最小线宽/线距能力验证:验证生产工艺所能实现的最细线路和最小间距的极限能力。
印刷电路板:适用于刚性PCB、柔性FPC及刚挠结合板的线路图形检测。
集成电路芯片:用于半导体晶圆上纳米级至微米级互连线的尺寸测量。
薄膜晶体管阵列:针对显示面板(如LCD、OLED)中TFT电极图形的精密检测。
厚膜与薄膜电路:涵盖混合集成电路、传感器等领域的厚膜印刷或薄膜沉积线路。
微波毫米波电路:对高频传输线、微带线等具有严格阻抗要求的线路进行检测。
掩模版与光罩:检测用于图形转移的母版上的线条尺寸和缺陷。
微机电系统:应用于MEMS器件中微型机械结构的关键尺寸测量。
太阳能电池电极
触摸屏感应线路:检测ITO或其他透明导电材料制成的细微网格或线路。
封装基板与引线框架:用于芯片封装载板上的高密度布线以及引线脚的尺寸检查。
光学显微测量法:利用高倍率光学显微镜成像,通过图像分析软件自动测量线宽。
激光共焦扫描法
扫描电子显微镜法
原子力显微镜法
白光干涉法
轮廓剖面测量法
机器视觉自动检测法
接触式探针扫描法
非接触式光学轮廓术
自动光学检测仪
激光共聚焦显微镜
扫描电子显微镜
原子力显微镜
白光干涉三维形貌仪
台阶仪/表面轮廓仪
沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。
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样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。
试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。
出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。
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