
时钟信号周期抖动:测量自动探针台时钟源输出信号相邻周期之间的时间偏差,评估其短期稳定性。
时钟信号周期至周期抖动:量化连续时钟周期之间时间间隔的变化,反映信号的高频噪声成分。
长期抖动:在大量时钟周期(如数千或数百万个)上测量的时间偏差,用于评估频率漂移和低频噪声影响。
相位抖动:测量信号边沿相对于理想定时位置的偏差,通常在频域中进行分析。
触发信号延迟抖动:测试探针台触发信号从发出到实际作用于被测器件引脚的时间不确定性。
运动轴定位同步抖动:检测探针卡或晶圆平台在移动到指定测试位置时,多轴运动之间的时间同步误差。
接触检测响应时间抖动:测量探针与焊盘接触瞬间,到系统识别并确认接触完成这一过程的响应时间波动。
测试向量施加时间抖动:评估测试机通过探针台向被测器件施加测试激励信号时,其施加时刻的时间精度变化。
数据采集采样时刻抖动:检测从被测器件输出信号到被测试系统采集并锁存数据这一过程中,采样时钟或采样触发的时间偏差。
电源噪声诱发的抖动:分析探针台内部电源波动对时钟、数据及控制信号路径所引入的附加时间不确定性。
主时钟分发网络:覆盖从探针台内部主时钟发生器到各个功能板卡时钟输入端的整个信号路径。
探针卡接口与通道:包括探针卡上的信号走线、连接器以及从测试头到探针尖端的电气路径。
精密运动控制系统:涵盖XY平台、Z轴升降机构等运动部件的定位指令响应与执行时序。
数字测试通道:针对用于传输数字测试向量和响应数据的每一个独立I/O通道进行抖动测试。
同步与触发信号路径:测试所有用于协调测试机、探针台、温控单元等子系统的同步和触发链路。
接触感知电路:对用于判断探针与晶圆焊盘是否可靠接触的电子感应回路进行时间精度评估。
高温/低温测试工况:在温度强制系统作用下,评估不同环境温度(如-55°C至150°C)对系统时间抖动的影响。
不同负载条件:测试在驱动不同容性、阻性负载时,探针台输出信号的时间抖动特性变化。
长期运行稳定性:监测探针台在连续工作数小时或数天期间,其关键时间参数的漂移与抖动变化趋势。
多站点并行测试:评估当探针台同时测试多个器件(多站点)时,各站点之间信号传输的时间偏差与同步抖动。
直接采样示波器法:使用高带宽、高采样率示波器直接捕获信号波形,通过统计分析测量时间间隔误差。
时间间隔分析仪法:利用TIA设备直接测量信号边沿之间的时间间隔,提供极高的时间分辨率和统计能力。
相位噪声分析法:通过频谱分析仪测量信号的相位噪声,并将其积分转换为时域的抖动值。
误码率测试仪法:通过BERT扫描采样点,根据误码率浴盆曲线反推和计算总抖动成分。
参考时钟比对法:使用一个超低抖动的外部参考时钟,与探针台内部时钟进行比对,以分离内部抖动源。
软件辅助统计分析:通过测试机或外部控制器编写特定测试序列,循环采集时间数据并进行软件统计分析。
抖动分解与分离技术:应用算法将测量得到的总抖动分解为随机抖动和确定性抖动等子成分。
眼图分析法:在示波器上累积形成信号眼图,通过测量眼图宽度来直观评估时间抖动对信号质量的影响。
实时抖动追踪法:使用具备实时抖动测量功能的仪器,连续监测并记录抖动随时间的变化过程。
系统级闭环测试法:构建包含测试机、探针台、被测器件的完整闭环测试链路,评估端到端系统抖动性能。
高性能数字存储示波器:具备高带宽(通常>20GHz)、高采样率及高级抖动分析软件,用于直接波形捕获与抖动测量。
时间间隔分析仪:提供飞秒级时间分辨率,专门用于精确测量信号边沿间的时间间隔及其统计分布。
相位噪声/信号源分析仪:用于频域抖动(相位噪声)的精密测量,尤其适用于评估时钟源的性能。
误码率测试仪:集成精密时钟恢复和误码检测功能,用于进行基于浴盆曲线的抖动容限和抖动传递测试。
超低抖动参考时钟源:作为抖动测量的基准,其自身抖动指标需远优于被测系统,以提供可靠的比对参考。
精密探头与线缆:包括高频有源探头、差分探头以及相位稳定的同轴电缆,确保测试信号的真实引入与测量。
可编程测试机/控制器:用于生成特定的测试激励序列,并控制探针台完成自动化、可重复的抖动测试流程。
温控设备与热流罩:用于创造并维持测试所需的极端温度环境,以评估温度对探针台时间抖动的影响。
振动隔离与屏蔽平台:提供机械振动隔离和电磁屏蔽,减少外部环境干扰对高精度时间测量带来的误差。
数据采集与分析软件:专用的抖动分析软件包,用于控制仪器、处理海量时间数据、生成报告并进行抖动成分分解。
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