氧含量二次离子检验检测

  发布时间:2025-09-05 18:50:06

检测项目

氧浓度测量:测定材料中氧元素的绝对浓度。检测参数包括检测限1e18 atoms/cm³,精度±5%。

深度剖析:分析氧含量随深度的变化。检测参数包括深度分辨率1nm,最大剖析深度10μm。

表面氧污染检测:识别材料表面的氧杂质。检测参数包括表面灵敏度0.1 monolayer,分析面积1mm²。

氧分布 mapping:生成二维氧含量分布图。检测参数包括空间分辨率100nm,扫描范围100μm x 100μm。

定量分析:通过标准样品校准进行氧含量定量。检测参数包括相对灵敏度因子误差<10%,校准曲线线性度R²>0.99。

同位素比率测量:测定氧同位素如16O/18O的比率。检测参数包括比率精度0.1%,质量分辨率M/ΔM=3000。

界面氧分析:分析材料界面处的氧含量。检测参数包括界面分辨率2nm,深度误差±0.5nm。

薄膜氧含量测定:测量薄膜中的氧浓度。检测参数包括薄膜厚度范围1nm-1μm,检测限5e17 atoms/cm³。

体材料氧分析:评估整体材料氧含量。检测参数包括分析体积1mm³,均匀性偏差<3%。

动态SIMS分析:用于实时深度剖析。检测参数包括溅射速率0.1-10 nm/s,信号稳定性±2%。

检测范围

半导体材料:硅晶圆、砷化镓等材料的氧含量分析。

金属合金:钢铁、铝合金中的氧杂质检测和分布研究。

陶瓷材料:氧化铝、氮化硅等陶瓷的氧化学计量分析。

聚合物材料:高分子化合物中的氧渗透或污染评估。

涂层和薄膜:二氧化硅薄膜、保护涂层的氧含量测定。

生物材料:医疗植入物表面的氧元素分析。

地质样品:矿物和岩石中的氧同位素组成研究。

核材料:核燃料元件中的氧含量监控。

电子器件:集成电路和元件的氧污染检测。

航空航天材料:复合材料中的氧分布和含量分析。

检测标准

ASTM E1504 JianCe Practice for Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)。

ISO 18JianCe Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors。

GB/T 17359-2012 微束分析 二次离子质谱分析方法。

ISO 14237 Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration。

GB/T XXXXX 表面化学分析 二次离子质谱 氧含量测定方法。

ASTM F1710 JianCe Guide for Depth Profiling in Secondary Ion Mass Spectrometry。

ISO 10720 Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for depth profiling。

GB/T 15000.9 标准样品工作导则 第9部分:二次离子质谱分析。

检测仪器

二次离子质谱仪:用于产生和分析二次离子,实现氧元素的定性和定量测量。

离子枪系统:产生 primary ion beam,用于样品溅射和离子激发。

质量分析器:分离和检测离子,提供高质谱分辨率和准确的质量测定。

样品台装置: holding and positioning samples, with capabilities for temperature control and tilt adjustment。

数据采集和处理系统:收集质谱信号,进行数据分析和结果输出。

检测服务流程

沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。

签订协议:根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节,为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。

样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。

试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。

出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。

我们秉持严谨踏实的态度,提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯,严格遵守保密协议,保障客户满意度与信任度。

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