轮廓算术平均偏差Ra：在取样长度内，轮廓偏距绝对值的算术平均值，是最常用的粗糙度评定参数。
轮廓最大高度Rz：在一个取样长度内，最大轮廓峰高与最大轮廓谷深之和，反映轮廓的极端起伏。
轮廓单元平均宽度RSm：轮廓微观不平度间距的平均值，用于评定表面纹理的疏密程度。
轮廓支承长度率Rmr(c)：在给定水平截面高度c上，轮廓的实体材料长度与评定长度的比率，与耐磨性相关。
轮廓总高度Rt：在评定长度内，轮廓最高峰顶线和最低谷底线之间的垂直距离。
轮廓偏斜度Rsk：表征轮廓幅度分布对称性的参数，区分尖峰或深谷占主导的表面。
轮廓陡度Rku：表征轮廓幅度分布尖锐程度的参数，值越大表示轮廓峰尖或谷底越尖锐。
轮廓微观不平度的平均间距S：轮廓峰与相邻轮廓谷在中线上投影长度的平均值。
轮廓均方根偏差Rq：取样长度内轮廓偏距的均方根值，在统计学上比Ra更敏感。
轮廓峰密度PPI：单位长度内的轮廓峰数量，用于评估表面的纹理密度。
机械加工表面：如车削、铣削、磨削、刨削等工艺形成的金属或非金属工件表面。
抛光与研磨表面：经过抛光、研磨、珩磨等光整加工后具有较高光洁度的表面。
电镀与涂层表面：施加了电镀层、油漆涂层、陶瓷涂层或热喷涂层的复合表面。
注塑与模压成型表面：塑料、橡胶等材料通过模具成型后获得的制品表面。
轧制与锻造表面：金属材料经过轧制、锻造等压力加工后形成的带有氧化皮或纹路的表面。
腐蚀与磨损表面：服役后发生腐蚀、磨损、疲劳等损伤的材料表面形貌分析。
光学元件表面：透镜、棱镜、反射镜等需要极高面形精度和低粗糙度的光学表面。
半导体晶圆表面：硅片、化合物半导体晶圆及其薄膜沉积、刻蚀后的微观形貌。
生物医学植入体表面：人工关节、牙科种植体等其表面粗糙度直接影响生物相容性。
纸张与纺织品表面：非刚性材料的表面纹理、平整度与触感特性的评估。
触针式轮廓法：使用金刚石触针划过表面，通过传感器将针尖的垂直位移转换为电信号，是国际标准方法。
光学干涉法：利用光波干涉原理，将表面微观起伏转换为干涉条纹的形变，实现非接触测量。
共聚焦显微镜法：利用共聚焦光路排除杂散光，通过逐点扫描或层析获取高分辨率的三维表面形貌。
白光干涉仪法：使用宽光谱白光光源，通过分析干涉条纹的对比度或相位，快速获取三维轮廓。
原子力显微镜法：利用探针与表面原子间的相互作用力，在纳米乃至原子尺度上测量表面形貌。
激光散射法：通过分析激光束在粗糙表面散射后的光强分布特性来间接评定粗糙度。
数字图像相关法：通过分析物体表面散斑图像在变形前后的变化，计算表面的三维形貌和位移。
电容法：将待测表面作为一个电容极板，通过测量电容值的变化来反映与另一极板间距离（即粗糙度）。
超声波反射法：利用超声波在粗糙表面反射时，其反射波强度或频谱会发生变化的特点进行评定。
印模法：使用塑性材料复制工件表面，然后对复制出的印模进行测量，适用于复杂或不可接触表面。
触针式表面粗糙度测量仪：便携式或台式设备，内置驱动传感器和评定软件，可直接输出Ra、Rz等参数。
轮廓测量仪：兼具粗糙度和轮廓形状测量功能的仪器，通常具有较长的测量范围和更高的形状精度。
白光干涉三维表面轮廓仪：基于白光干涉原理，能快速获取大面积、高精度的三维表面形貌图和丰富参数。
激光共聚焦显微镜：利用激光共聚焦技术，实现亚微米级分辨率的表面三维扫描与测量。
原子力显微镜：用于纳米级超精密表面分析，可测量极低的粗糙度和微观结构。
光学轮廓仪：通常指基于相移干涉或垂直扫描干涉原理的非接触式二维/三维轮廓测量设备。
粗糙度比较样块：一组已知粗糙度值的标准表面样块，通过视觉和触觉与被测表面进行比对。
在线粗糙度检测系统：集成在生产线上，使用激光或光学传感器对工件进行实时、在线的粗糙度监测。
三维扫描电子显微镜：结合SEM的高分辨率与立体对技术，用于测量微区表面的三维形貌。
手持式激光粗糙度仪：采用激光散射或三角测量原理，便于现场快速、非接触测量大型或难以移动的工件。
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