表面粗糙度参数（Sa, Sq, Sz）：评价表面在三维空间内的整体起伏程度，是衡量表面光滑与否的核心指标。
磨损体积：通过对比磨损前后三维形貌数据，精确计算材料损失的三维空间体积。
材料损失率：在特定时间或摩擦条件下，单位时间内材料体积的损失量，用于评估耐磨性。
磨损深度与分布：测量磨损区域的最大深度、平均深度及其在表面的空间分布情况。
表面纹理方向性：分析表面沟槽、划痕等纹理的主导方向，反映磨损机理和相对运动方向。
轮廓支承率曲线：描述在不同深度截面上材料实体所占的比例，与表面的承载和润滑性能密切相关。
峰谷高度分布：统计表面最高点与最低点的高度分布特征，评估表面的极端起伏状况。
磨损坑/划痕的几何特征：对单个典型的磨损缺陷进行长、宽、深、面积、体积等几何参数的定量分析。
表面功能参数（Sk, Spk, Svk）：基于 Abbott-Firestone 曲线，将表面分为核心区、峰区和谷区，分别评价其承载、储油等性能。
表面形貌演变过程：通过多时间节点三维形貌的对比，动态分析磨损过程的形貌发展规律。
宏观磨损形貌：整体磨损区域的视觉形态，如磨粒磨损的犁沟、粘着磨损的材料转移等。
微观表面结构：在微米乃至纳米尺度下的表面微凸体、微坑、微裂纹等精细结构。
磨损过渡区：磨损区域与未磨损原始表面的交界区域，用于分析磨损的起始与扩展行为。
润滑膜失效区域：因润滑不良导致的干摩擦或边界润滑区域的三维形貌特征。
涂层/薄膜磨损表面：评估功能性涂层在磨损后的完整性、剥落情况及基体暴露程度。
疲劳磨损表面：分析疲劳点蚀、剥层等疲劳磨损机制产生的凹坑、裂纹形貌。
腐蚀磨损复合表面：同时存在机械磨损和化学腐蚀作用的复杂表面形貌分析。
磨合期表面：零部件初始运行阶段，表面形貌为达到稳定磨损状态所发生的变化。
生物医学植入体表面：人工关节、牙科种植体等在体服役后的磨损与生物膜附着形貌。
精密加工表面：磨削、抛光、车削等工艺表面在磨损前后的形貌对比与性能退化评估。
白光干涉显微术：利用白光干涉原理，通过扫描获取高垂直分辨率的三维形貌，适用于光滑及中等粗糙表面。
激光共聚焦扫描显微术：利用激光点扫描和共聚焦针孔技术，逐层聚焦扫描，重建三维形貌，尤其适合陡峭侧壁测量。
聚焦离子束-扫描电镜三维重构：结合FIB的逐层铣削和SEM的成像，实现纳米级精度的三维形貌与内部结构分析。
原子力显微镜：利用探针与样品表面的原子间力，在纳米尺度上测量表面形貌，分辨率极高。
结构光投影法：将编码的光栅条纹投影到物体表面，通过变形的条纹图像解算三维坐标，适合大视场快速测量。
接触式轮廓扫描法：使用金刚石探针划过表面，直接记录轮廓高度变化，是传统的二维/三维形貌测量方法。
数字图像相关法：通过追踪表面散斑在变形前后的图像相关性，计算表面的三维位移与形貌变化。
激光三角测量法：基于激光三角原理，通过激光点或线在探测器上的位置变化计算高度信息。
相位偏移干涉术：一种高精度的干涉测量技术，通过改变参考光相位来提取表面高度信息，用于超光滑表面。
摄影测量法：从不同角度拍摄多幅二维图像，通过计算机视觉算法重建物体的三维形貌，适用于大型零件。
白光干涉三维表面轮廓仪：集成白光干涉光学系统、精密Z向扫描器和分析软件，用于非接触式高精度三维形貌测量。
激光共聚焦显微镜：配备高精度电动载物台和三维重建软件的显微镜，可实现高分辨率三维形貌成像与测量。
三维光学轮廓仪：通常指基于白光干涉或共聚焦原理的商用化集成设备，提供一键式三维测量与分析功能。
原子力显微镜：包含纳米级探针、高精度压电扫描器及反馈控制系统的设备，用于极端分辨率的三维形貌表征。
双束电镜系统：集成聚焦离子束与场发射扫描电镜，兼具高分辨率成像与精密截面加工能力，用于三维重构。
结构光三维扫描仪：由投影仪、工业相机和计算机构成，通过投影光栅和相位解算快速获取物体三维点云数据。
接触式表面轮廓仪：配备高精度位移传感器和金刚石探针的机械式测量仪器，用于二维/三维轮廓的接触式测量。
激光扫描共焦传感器：将激光共聚焦原理集成于单个传感器头，可集成到坐标机或自动化设备中进行在线测量。
相移干涉仪：采用相移技术的专业干涉仪，配备稳定的光源和环境隔振系统，用于光学元件等超光滑表面的检测。
三维数字图像相关系统：由两个或多个同步高速相机、散斑制备工具及专业软件组成，用于动态变形与形貌测量。
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