颗粒物质量：通过称重法测定从特定部件或系统表面清洗下来的所有颗粒污染物的总质量，是清洁度评价的基础量化指标。
颗粒尺寸分布：分析提取颗粒中不同粒径范围（如5-25μm， 25-50μm等）的颗粒数量或质量占比，反映污染颗粒的精细构成。
最大颗粒尺寸：识别并记录样本中存在的单一最大颗粒的尺寸，对液压系统、轴承等对大型硬质颗粒敏感的部件至关重要。
纤维状污染物含量：专门检测和统计清洗液中纤维的长度和数量，常见于纺织、造纸或装配环境带来的污染。
金属颗粒与非金属颗粒区分：利用磁性分离或光谱分析等方法，区分污染颗粒的材质属性，用于追溯污染源。
颗粒化学成分分析：对关键或异常颗粒进行元素或化合物分析，以精确判断其来源（如磨屑、焊渣、环境粉尘等）。
清洁液残留量：检测清洗后部件表面或内部残留的清洗剂、防锈油等液体的量，避免二次污染或化学反应。
表面离子污染度：测量可溶于水的离子型污染物（如氯离子、硫酸根离子）含量，对电子电路板的可靠性影响重大。
非挥发性残留物：测定清洗溶剂蒸发后留下的不挥发物质的总量，用于评估油污、油脂、树脂等有机污染。
微生物污染水平：在特定行业（如食品、制药、医疗器械），检测表面存在的细菌、霉菌等微生物的数量和种类。
汽车发动机零部件：如缸体、曲轴、燃油喷射系统等，其清洁度直接影响发动机的寿命、性能和排放。
液压与润滑系统：包括液压阀、泵、管路及油箱，微米级颗粒即可导致系统失效，清洁度要求极高。
航空航天部件：飞机发动机叶片、燃油控制系统、液压作动筒等，需满足极为严苛的行业标准（如NAS1638, SAE AS4059）。
精密轴承与齿轮：轴承滚道、齿轮啮合面等，残留颗粒会加速磨损，导致疲劳失效和噪音。
半导体与电子元器件：芯片、PCB电路板等，微颗粒和离子污染会造成短路、电迁移或腐蚀，影响良率。
医疗器械与植入物：手术器械、人工关节等，清洁度关乎生物相容性和患者安全，需无菌且无颗粒残留。
光学元件与镜头：镜片、棱镜、光刻机镜头等，表面颗粒和薄膜污染物会严重散射或吸收光线，影响成像质量。
食品与药品包装材料：罐体、瓶身、铝箔等直接接触产品的包装，需控制微生物和化学污染物迁移风险。
增材制造（3D打印）零件：打印成型后的零件内部通道和表面常残留未固化树脂或金属粉末，需严格检验。
清洁室环境与设备：对洁净室的工作台、工具、手套等进行表面清洁度监测，以维持环境等级。
压力冲洗萃取法：使用指定压力的清洗液（如超声波辅助）冲洗被测件表面，将污染物收集到滤膜上，是最常用的方法。
超声波清洗萃取法：将零件浸入盛有清洗剂的超声波槽中，利用空化效应剥离颗粒，适用于复杂内腔的清洗。
抖动清洗法：将零件与清洗剂一同放入密闭容器中进行机械抖动，通过机械能剥离颗粒，适用于小型批量零件。
滤膜称重法：将收集了污染颗粒的滤膜在恒温恒湿条件下干燥并称重，计算颗粒污染物总质量。
显微镜分析法：使用光学或电子显微镜对滤膜上的颗粒进行观察、计数和尺寸测量，获取颗粒尺寸分布数据。
自动颗粒计数器法：使携带颗粒的清洗液流经光学或激光传感器，实时检测并统计颗粒的数量和尺寸。
扫描电子显微镜/能谱分析：利用SEM观察颗粒超微形貌，并结合EDS分析其元素成分，进行深入的溯源分析。
离子色谱法：用于精确测定清洗液中阴离子和阳离子的种类与浓度，评估表面离子污染水平。
红外光谱法：通过分析污染物对红外光的吸收特征，鉴定有机污染物的种类（如油脂、聚合物）。
微生物培养与计数法：通过接触碟、擦拭取样等方式采集微生物，在培养基上培养并计数，评估生物污染程度。
清洁度萃取设备：包括压力冲洗柜、超声波清洗机、抖动清洗机等，用于从零件上系统性地提取污染物。
分析型过滤装置：由真空泵、过滤杯和滤膜支撑座组成，用于将清洗液中的颗粒污染物截留在特定孔径的滤膜上。
精密电子天平：具有微克级分辨率的分析天平，用于对滤膜进行清洗前后的精确称重，计算颗粒质量。
立体光学显微镜：配备测微尺和图像采集系统，用于人工观察、计数和测量滤膜上颗粒的尺寸与形貌。
自动清洁度分析系统：集成自动扫描显微镜、图像分析软件，能自动识别、计数、测量颗粒并生成报告。
液体自动颗粒计数器：基于光阻法或激光散射原理，在线或离线检测液体样品中颗粒的尺寸与数量。
扫描电子显微镜：提供极高的放大倍数和景深，用于观察亚微米级颗粒的详细表面形貌和结构。
能谱仪：通常与SEM联用，对观测到的单个颗粒或区域进行元素定性和半定量分析。
离子色谱仪：用于分离和检测溶液中各种离子含量，是分析离子污染的专业仪器。
红外光谱仪：通过傅里叶变换红外光谱技术，快速鉴定有机污染物的化学键和官能团，确定污染物种类。
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