颗粒污染物数量与尺寸分布：统计单位面积或体积内不同粒径区间的颗粒数量，是清洁度评价的核心量化指标。
颗粒物化学成分分析：确定污染颗粒的元素或化合物组成，用于追溯污染源，如金属屑、纤维、硅砂等。
非挥发性残留物（NVR）质量：测量清洗后残留在部件表面的可溶性及非溶性残留物的总质量。
纤维污染物含量：专门检测并统计来自衣物、擦拭材料等的纤维状污染物数量与长度。
金属颗粒物含量：重点关注铁、铝、铜等金属磨屑的含量，对液压、润滑系统至关重要。
离子污染物浓度：检测表面残留的氯离子、硫酸根离子等，评估其对电化学腐蚀的影响。
水分含量：检测系统内部或部件表面的微量水分，对于忌水系统（如某些制冷系统）非常关键。
油膜与油脂残留：评估清洗后表面矿物油、润滑油、油脂等有机薄膜的残留情况。
微生物污染水平：在制药、食品设备等领域，检测细菌、霉菌等微生物的存在与数量。
表面能/接触角：通过接触角间接评估表面清洁程度，清洁表面通常具有较高的表面能和较小的接触角。
汽车发动机零部件：如缸体、曲轴、燃油共轨系统，清洁度直接影响发动机寿命与性能。
航空航天液压系统：包括作动筒、阀块、管路，极微小的颗粒可能导致系统失效。
半导体制造设备与晶圆：纳米级的颗粒污染即可导致芯片电路缺陷，要求极高的清洁度。
医疗器械与植入物：如手术器械、人工关节，清洁度关乎生物安全性与患者健康。
精密液压与润滑系统：如风电齿轮箱、工业机器人减速器，是设备可靠运行的根本保障。
电子电路板与组件：检测焊后残留的助焊剂、粉尘，防止电路腐蚀与短路。
食品与药品包装材料：确保内表面清洁，无有害物质迁移风险。
光学元件与镜头：如相机镜片、光刻机镜头，表面微粒和薄膜会严重影响光学性能。
燃料管路与存储系统：防止污染物堵塞喷嘴或催化器，确保燃烧效率。
清洁室环境与设备：定期检测洁净室空气及内部设备表面的颗粒沉降情况。
压力冲洗萃取法：使用特定压力的清洁液冲洗部件表面，将污染物收集到滤膜上，是ISO 16232/VDA 19标准方法。
超声波清洗萃取法：将部件浸入超声波清洗槽中，利用空化效应将狭缝深处的污染物振荡出来并进行收集。
搅动清洗法：将部件与清洗液在密闭容器中通过搅动进行清洗，适用于小部件批量检测。
滤膜称重法：将萃取液过滤后，对收集了污染物的滤膜进行烘干并称重，得到污染物总质量。
光学显微镜分析法：在显微镜下对滤膜上的颗粒进行手动或自动计数、尺寸测量和形貌观察。
扫描电子显微镜/能谱分析：利用SEM观察颗粒超微形貌，并利用EDS进行化学成分定性定量分析。
激光自动颗粒计数法：使萃取液流经激光传感器，根据光阻或光散射原理实时、自动计数和分级颗粒。
离子色谱法：用于精确检测和定量分析清洗液或萃取液中的各种阴、阳离子污染物浓度。
傅里叶变换红外光谱法：通过分析污染物对红外光的吸收特征，鉴定有机残留物的种类。
接触角测量法：通过测量液滴在待测表面的接触角，间接、快速地评估表面的清洁程度。
清洁度萃取设备：包括压力冲洗柜、超声波清洗机、专用清洗枪等，用于从部件上提取污染物。
精密分析天平：用于滤膜和污染物质量的精确称量，精度通常要求达到0.1毫克或更高。
光学颗粒分析显微镜：配备高分辨率摄像头和自动扫描台，可自动识别、计数和测量颗粒。
激光颗粒计数器：在线或离线检测液体中的颗粒，能快速输出按标准分级（如ISO 4406）的颗粒浓度。
扫描电子显微镜：提供纳米级分辨率的颗粒形貌观察，是深入分析微小颗粒的必要工具。
能谱仪：通常与SEM联用，用于对单个颗粒或区域进行元素成分分析。
真空过滤装置：用于将萃取液中的污染物高效、均匀地收集到特定材质的滤膜上。
离子色谱仪：高灵敏度分析仪器，专门用于检测痕量级别的离子型污染物。
红外光谱仪：用于鉴定未知有机污染物，如油脂、树脂、塑料残留等。
接触角测量仪：通过视频或光学系统精确测量液滴在固体表面的接触角，评估表面清洁度与亲疏水性。
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