集成电路老化测试检测

  发布时间:2025-06-24 09:56:03

检测项目

高温工作寿命试验(HTOL):125℃/150℃条件下施加额定电压1000-2000小时,监测参数漂移≤10%

温度循环测试(TCT):-65℃至+150℃循环2000次,转换速率15℃/min,记录结构失效

高温高湿反偏试验(THB):85℃/85%RH环境施加5.5V偏压1000小时,监测漏电流变化

电迁移测试:电流密度≥1MA/cm²持续500小时,电阻增幅阈值设定±15%

热载流子注入测试(HCI):Vdd=1.3倍额定电压,沟道电流10μA/μm,退化率<5%

时间相关介质击穿(TDDB):栅氧层施加8-12MV/cm电场,失效时间分布统计

负偏压温度不稳定性(NBTI):125℃下负偏压-2.1V持续168小时,阈值电压偏移量检测

软错误率测试(SER):重离子辐射LET值10-100MeV·cm²/mg,错误计数精度±0.1%

锡须生长观测:温度梯度45-125℃循环,生长速率测量精度0.1μm/千小时

焊点疲劳测试:-55℃/+125℃温差循环,剪切力衰变曲线记录

栅氧完整性测试(GOI):斜坡电压扫描速率0.1V/s,击穿场强统计分布

介质层漏电测试:125℃下施加3.3V偏压,漏电流分辨率1pA

检测范围

逻辑芯片:包括MCU/MPU等处理器件的时钟抖动与信号完整性退化分析

存储器件:DRAM保持时间衰退及NAND闪存擦写次数寿命验证

功率半导体:IGBT模块热阻变化率及MOSFET导通电阻漂移检测

射频集成电路:GaAs PA功率附加效率退化及LNA噪声系数偏移监控

传感器芯片:MEMS加速度计零点漂移与CMOS图像传感器暗电流增长评估

车规级芯片:AEC-Q100认证要求的高温栅极应力寿命试验

宇航级器件:MIL-STD-883标准下总剂量辐射效应加速老化

电源管理IC:DC-DC转换器效率衰减及LDO跌落电压稳定性测试

封装基板:BT材料玻璃化转变温度变化及铜柱凸点IMC层生长监测

晶圆级封装:TSV通孔电阻变化及微凸点剪切强度测试

先进制程芯片:FinFET器件的PBTI效应及EOT层可靠性验证

光电器件:VCSEL激光器输出功率衰减及PD响应度漂移检测

检测标准

JESD22-A108F高温寿命试验操作规程

JESD22-A104G温度循环应力测试规范

JEDEC JESD22-A101稳态温湿度偏压试验标准

MIL-STD-883 TM1015 加速老化试验通用流程

IEC 60749-34 半导体器件湿热高压加速测试

GB/T 4937.1-2023 半导体器件机械和气候试验方法

AEC-Q100 REV-H 车用芯片可靠性验证标准

ISO 16750-4 道路车辆电气环境条件试验标准

EIAJ ED-4701 3001 半导体器件环境试验方法

GJB 548B-2005 微电子器件试验方法

GB/T 2423.22 温度变化试验导则

IPC-9701 表面贴装焊点可靠性测试标准

检测仪器

高温老化试验箱:温度范围-70℃至+300℃,温控精度±0.5℃,支持1000小时持续应力加载

快速温度变化试验机:升降温速率≥25℃/min,具备三温区独立控制功能

半导体参数分析仪:最小电流分辨率0.1fA,支持SMU脉冲模式HCI测试

高加速寿命试验系统(HALT):多轴振动台最大加速度100Grms,温变速率60℃/min

扫描电子显微镜:分辨率1nm,配备EBIC功能用于失效定位分析

微欧姆电阻测试仪:四线法测量精度±0.02%,支持通孔电阻实时监测

热阻测试仪:瞬态双界面法,θJA测量误差±3%

激光扫描显微系统:空间分辨率0.15μm,用于热点定位及漏电分析

质子辐照加速器:束流密度可调范围10⁴-10¹¹ p/cm²·s,模拟空间辐射环境

声发射探测仪:频率响应50kHz-1MHz,实时捕捉微裂纹扩展信号

X射线断层扫描仪:分辨率0.5μm,三维重建封装内部结构变化

原子力显微镜:扫描范围100μm,表面形貌变化监测精度0.1nm

检测服务流程

沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。

签订协议:根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节,为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。

样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。

试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。

出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。

我们秉持严谨踏实的态度,提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯,严格遵守保密协议,保障客户满意度与信任度。

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