电阻率检测主要包含以下核心项目：1）材料导电性能等级判定 2）导体/半导体/绝缘体分类验证 3）金属材料纯度分析 4）半导体掺杂浓度测定 5）复合材料各向异性评估 6）温度系数特性测试 7）表面/体积电阻率区分测量 8）薄膜材料横向/纵向电阻率比对。其中半导体晶圆片需执行ASTM F84标准规定的薄层电阻测试，金属材料依据GB/T 351-2019进行体电阻率测定。
本检测适用于：1）金属材料：铜/铝导体合金、贵金属触点材料等 2）半导体材料：单晶硅片、GaAs晶圆等 3）绝缘材料：陶瓷基板、高分子聚合物等 4）功能薄膜：ITO导电膜、石墨烯涂层等 5）复合材料：碳纤维增强塑料、金属基陶瓷等 6）纳米材料：碳纳米管阵列、量子点薄膜等。特殊应用场景包含：航空航天导线耐温性验证、光伏电池电极性能评估、PCB基板绝缘可靠性测试。
主流检测方法体系包含：
四探针法：依据GB/T 1551标准，通过线性排列探针消除接触电阻影响，适用于块体材料及半导体晶圆测试
涡流法：基于电磁感应原理的非接触式测量（ISO 2178），适用于金属板材在线检测
直流二电极法：配合屏蔽箱使用（ASTM D257），用于高阻值绝缘材料测量
范德堡法：通过几何对称电极配置（JIS H0602），精准测定各向异性材料电阻率
微波谐振腔法：针对超导材料的非破坏性低温测量技术
专业检测设备体系包括：
| 仪器类型 | 测量范围 | 精度等级 | 适用标准 |
|---|---|---|---|
| 四探针电阻率测试仪 | 10-4-104 Ω·cm | ±0.5% | SEMI MF84 |
| 涡流导电仪 | 1-110% IACS | ±0.8% | ISO 2360 |
| 高阻计系统 | 103-1018 Ω·cm | ±5% | IEC 62631-3-1 |
| 低温探针台系统 | 4.2-300K环境控制 | ±0.1K | ASTM B193 |
| 霍尔效应测试系统 | 10-3-107 Ω·cm | ±1% | JIS H0602 |
