硅外延片检测什么单位可以做?检测项目及标准有哪些?费用是多少?中析检测研究所实验室可依据GB/T 14139-2019 硅外延片等相关标准制定试验方案。对导电类型、晶向、电阻率及径向电阻率变化、厚度及径向厚度变化等项目进行检测分析。并出具严谨公正的硅外延片检测报告。
导电类型、晶向、电阻率及径向电阻率变化、厚度及径向厚度变化、晶体完整性、表面金属元素分析、表面质量等。
N型硅外延片、P型硅外延片等。
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 6617 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 12964 硅单晶抛光片
GB/T 13389 掺砌掺磷掺碑硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 14141 硅外延层、扩展层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
GB/T 14142 硅外延层品体完整性检验方法 腐蚀法
GB/T 14146 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法
GB/T 14847 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
1、报告无“研究测试专用章”或公章无效，报告无防伪二维码无效;
2、复制报告未重新加盖“研究测试专用章”或公章无效;
3、报告无主检、审核、批准人签字无效;
4、报告涂改无效;
5、对检测报告若有异议，应于收到报告之日起十五日内提出，逾期不予受理;
