磁控溅射镀膜检测

磁控溅射镀膜检测一般有什么测试方法?检测标准有哪些?费用是多少?中析检测研究所实验室可依据相关标准制定试验方案。对光密度、膜厚度、反射率、蚀刻时间、均匀性测试等项目进行检测分析。并出具严谨公正的磁控溅射镀膜检测报告。

检测项目

膜厚、膜厚均匀性、膜层结构、晶体结构、相组成、表面形貌、粗糙度、附着力、结合力、硬度、弹性模量、摩擦系数、耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性、导电性、电阻率、光学透过率、光学反射率、折射率、消光系数、化学组成、元素分布、杂质含量、应力、内应力、热稳定性、抗热震性、耐湿性、透气性、针孔密度、缺陷密度、膜层致密性等。

适用范围

金属膜、合金膜、氧化物膜、氮化物膜、碳化物膜、硼化物膜、硫化物膜、氟化物膜、硅化物膜、钛膜、铬膜、镍膜、铜膜、铝膜、银膜、金膜、不锈钢膜、氮化钛膜、氮化铬膜、氮化铝膜、氧化铝膜、氧化钛膜、氧化锆膜、氧化锌膜、氧化铟锡膜、碳膜、类金刚石膜、多层膜、梯度膜、复合膜、功能膜、装饰膜、硬质膜、减反射膜、增透膜、反射膜、导电膜、绝缘膜、磁性膜、光学膜、耐腐蚀膜、耐磨膜、疏水膜、亲水膜等。

相关检测标准

YS/T 719-2009 平面磁控溅射靶材.光学薄膜用硅靶

GB/T 32025-2015 镀铝玻璃镜

JC/T 2201-2013 镀膜玻璃用靶材

GB/T 34649-2017 磁控溅射用钌靶

GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

ISO 21164-2018 金属和其他无机涂层 - 用于工程目的的直流磁控溅射银涂层 - 涂层附着力的测量

GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

办理检测报告的目的

1、评定产品质量的好坏;

2、判断产品质量等级，即缺陷严重程度;

3、对工艺流程进行检验和工序质量的监督;

4.对质量数据进行搜集统计与分析，以便为质量改进与质量管理活动的开展奠定基础;

5.引入仲裁检验判断质量事故责任。

检测报告的注意事项

1.报告中没有“研究测试专用章”和公章，报告没有防伪二维码无效;

2.复制的报告不复盖“研究测试专用章”或者公章无效;

3.报告没有主检，审查，审批人员签名无效;

4.涂改报告无效的;

5.检测报告如有异议，应当在收到报告后15日内提出，逾期不予受理;