曝光机检测

曝光机检测一般有什么测试方法?检测标准有哪些?费用是多少?中析检测研究所实验室可依据相关标准制定试验方案。对曝光分辨率、边缘粗糙度、图形精度、图形拼接精度、套刻精度等项目进行检测分析。并出具严谨公正的曝光机检测报告。

检测项目

光源强度、光源均匀性、曝光精度、套准精度、分辨率、图形失真度、曝光时间准确性、能量稳定性、真空度、台面平整度、光路系统清洁度、滤光片性能、快门响应时间、控制系统功能、软件兼容性、电气安全、辐射防护、散热性能、机械传动精度、噪音水平、外观及结构完整性等。

适用范围

接触式曝光机、接近式曝光机、投影式曝光机、步进式投影曝光机、扫描式投影曝光机、深紫外曝光机、极紫外曝光机、X 射线曝光机、电子束曝光机、离子束曝光机、激光直写曝光机、数字微镜器件曝光机、喷墨曝光机、光刻胶涂布曝光一体机、掩膜版对准曝光机、晶圆级曝光机、面板级曝光机、卷对卷曝光机、微机电系统曝光机、纳米压印曝光机、全息曝光机等。

相关检测标准

SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件

SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范

SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

SJ/T 11079-1996 掩膜对准曝光机通用技术条件

办理检测报告的目的

1、评定产品质量的好坏;

2、判断产品质量等级，即缺陷严重程度;

3、对工艺流程进行检验和工序质量的监督;

4.对质量数据进行搜集统计与分析，以便为质量改进与质量管理活动的开展奠定基础;

5.引入仲裁检验判断质量事故责任。

检测报告的注意事项

1.报告中没有“研究测试专用章”和公章，报告没有防伪二维码无效;

2.复制的报告不复盖“研究测试专用章”或者公章无效;

3.报告没有主检，审查，审批人员签名无效;

4.涂改报告无效的;

5.检测报告如有异议，应当在收到报告后15日内提出，逾期不予受理;