管道连接点密封性检测：针对管道系统中所有焊缝、卡套接头、VCR接头、法兰等连接部位进行的气密性检查，是泄漏检测的基础。
阀门密封性检测：对各类球阀、隔膜阀、波纹管阀的阀杆、阀座等关键密封部位进行检测，防止其成为泄漏源。
压力衰减测试：通过向密闭管道系统充入惰性测试气体，监测其在一定时间内的压力下降值，以判断系统是否存在泄漏。
保压测试：在系统达到设计压力后，保持压力并观察其稳定性，是验证系统整体完整性的重要手段。
真空检漏：将管道系统抽至真空状态，通过监测压力回升速率或使用氦质谱检漏仪从外部探测，定位微小泄漏点。
氦质谱检漏：使用氦气作为示踪气体，利用高灵敏度的氦质谱检漏仪进行定位或定量检测，是精度最高的检漏方法之一。
氧气/水分渗透检测：检测外部环境中的氧气或水蒸气是否通过管道壁或密封件渗透进入系统，影响气体纯度。
颗粒物释放检测：评估管道内壁在气流冲刷下是否释放超标颗粒物，虽非直接泄漏，但对气体洁净度影响重大。
整体泄漏率测试：测定整个管道系统在特定条件下的总泄漏率，以量化系统的密封性能等级。
材料放气率测试：检测管道、阀门、密封件等材料本身在真空或吹扫条件下释放气体的速率。
主管路输送管道：从气源站到车间使用点的所有高纯气体输送干线，通常为不锈钢EP级管道。
分支分配管路：从主管路分配到各个工艺设备或使用点的次级管道网络。
阀门箱与阀门柜：集成多个阀门、调节器和仪表的封闭箱体，内部连接点密集，是检测重点。
气体面板与分配箱：位于设备前端，用于气体过滤、减压和分配的控制单元，包含大量接头。
特种气体供应柜：用于有毒、腐蚀性或自燃性特种气体的独立供应装置，其密封性要求极高。
焊接接头与焊缝：所有自动轨道焊或手工焊接的管道对接焊缝，需进行100%的气密性检查。
机械连接接头：包括双卡套接头、面密封接头等所有非焊接式连接点。
仪表与传感器接口：压力表、流量计、纯度分析仪等仪表与管道的连接接口。
设备终端连接点：管道与反应腔、刻蚀机、扩散炉等工艺设备最终接入的接口。
排空与吹扫管路：用于系统排空、置换和吹扫的辅助管道及其阀门，防止其成为污染反扩散路径。
气泡检漏法：在检测部位涂抹皂液或专用检漏液，观察是否有气泡产生，用于初步定位明显泄漏。
压力变化法：包括压力衰减法和压力上升法，通过监测封闭系统内压力的变化来推断泄漏情况。
氦质谱吸枪法：向管道内充入一定浓度的氦气，使用氦质谱检漏仪的吸枪在外部可疑点扫描，定位泄漏源。
氦质谱真空罩法：将待测部件或局部管道用罩子密封并抽真空，向管道内充氦，通过罩内氦浓度检测整体泄漏率。
超声波检漏法：使用超声波检测仪捕捉气体泄漏时产生的高频超声波信号，适用于高压气体泄漏的快速定位。
红外热成像检漏法：利用高压气体泄漏时导致的局部温度变化，通过红外热像仪进行可视化检测。
卤素检漏法：使用卤素气体（如R134a）作为示踪剂，通过卤素检漏仪进行检测，灵敏度较高。
氢气示踪检漏法：以5%氢气和95%氮气的混合气作为安全示踪气体，使用微氢传感器进行快速扫描检漏。
四极杆质谱仪检漏法：使用特定气体作为示踪剂，利用四极杆质谱仪的高选择性进行痕量泄漏检测。
累积测试法：将测试部件置于密闭收集腔内一段时间，然后分析腔内累积的示踪气体浓度，计算泄漏率。
氦质谱检漏仪：高纯气体检漏的核心设备，利用磁场分离氦离子进行检测，灵敏度可达10^-12 Pa·m³/s。
精密压力传感器与记录仪：用于压力衰减/上升测试，实时监测并记录系统压力的微小变化。
超声波检漏仪：将泄漏产生的超声波信号转换为人耳可闻的声音或可视化读数，便于快速巡检。
卤素气体检漏仪：通过检测卤素元素离子流的变化来定位泄漏，常用于制冷剂或含卤素特气的检漏。
氢气微量检漏仪：专门检测氢气示踪气体的便携设备，响应速度快，适用于现场大范围扫描。
红外热像仪：非接触式检测设备，可将物体表面温度分布转化为可视图像，用于辅助泄漏点定位。
真空泵组：为真空检漏、氦质谱检漏提供所需的真空环境，包括前级泵和分子泵等。
示踪气体充注装置：用于向被测系统安全、精确地充入氦气、氢气混合气等示踪气体。
标准漏孔：经过校准的、具有已知泄漏率的装置，用于校准检漏仪的灵敏度和测试系统的有效性。
气密性测试仪：集成压力控制、数据采集和判断功能的自动化设备，常用于生产线上部件的快速测试。
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