
高纯气体中总杂质含量:测定高纯氮、氩、氦等气体中所有痕量杂质气体的总和,是评价气体纯度的核心指标。
氧气含量分析:精确测定材料或保护性、反应性气体中的氧气浓度,对半导体制造和金属热处理至关重要。
氮气含量分析:分析惰性气体或特种气体中的氮气杂质,或测定材料中溶解的氮含量。
氢气含量分析:检测高纯气体中的氢气杂质,或分析金属材料中的氢含量,以防止氢脆。
一氧化碳与二氧化碳分析:同时测定这两种常见碳氧化物杂质,用于评价燃料气体纯度或工艺过程控制。
水分(水蒸气)含量测定:测量气体或固体材料中的微量水分,是电子、制药等行业的关键控制参数。
烃类化合物分析:检测甲烷、乙烷、乙烯等总烃或特定烃类含量,常见于石油化工和天然气分析。
卤素气体成分分析:精确测定氟、氯、溴等卤素及其化合物(如HCl、HF)的浓度。
痕量硫化物分析:检测硫化氢、羰基硫等含硫杂质,对催化剂保护和环境监测意义重大。
颗粒物与粉尘浓度:测量气体中悬浮的固体颗粒物数量与尺寸分布,是洁净工艺的重要指标。
电子特气:用于半导体、液晶面板制造的高纯硅烷、磷烷、氨气、氖气等特种气体。
工业大宗气体:氧气、氮气、氩气、氢气、二氧化碳等管道气或瓶装气的纯度验证。
金属与合金材料:钢铁、铝合金、钛合金等金属中溶解的气体元素(O、N、H)分析。
无机非金属材料:陶瓷、玻璃、晶体等材料中的气体夹杂物或表面吸附气体分析。
高分子聚合物:塑料、橡胶等材料在合成或加工过程中残留的单体、溶剂或分解气体。
环境空气与排放气体:工厂车间环境、烟道排放废气中的特定气体成分监测。
医疗与食品级气体:医用氧气、麻醉气体、食品包装用氮气/二氧化碳的纯度与安全性检测。
高纯材料与溅射靶材:高纯硅、锗、贵金属靶材等材料内部的痕量气体杂质分析。
真空系统残余气体:对真空腔室内的残余气体成分进行定性定量分析,以排查泄漏和污染源。
锂电池电解液与密封系统:分析电解液分解气体或电池封装内的气氛成分,用于安全与失效分析。
气相色谱法:利用不同组分在色谱柱中分配系数的差异进行分离,随后由检测器定量,应用最广。
质谱分析法:将气体分子电离,按质荷比进行分离检测,特别适用于复杂成分的定性和痕量分析。
傅里叶变换红外光谱法:基于分子对红外光的特征吸收来鉴定和定量气体成分,擅长分析极性分子。
激光光谱法:如TDLAS,利用可调谐激光器对特定气体的吸收线进行高灵敏度、快速在线测量。
电化学传感器法:通过气体在传感器内发生电化学反应产生的电流来测量浓度,常用于便携式仪器。
热导检测法:基于不同气体热导率差异进行检测,是气相色谱的通用检测器,主要用于常量分析。
光离子化检测法:使用紫外光离子化气体分子,对VOCs具有高灵敏度,常用于环境监测。
氦质谱检漏法:使用氦气作为示踪气体,通过质谱仪检测极微量的氦来定位和定量系统的泄漏。
库仑法:主要用于微量水分测定,水分与电解液反应,通过计算电解所耗电量来精确测定水含量。
氧氮氢分析仪法:通过高温熔融提取材料中的气体,分别用红外(C、S)、热导(O、N)等方法测定。
气相色谱仪:配备TCD、FID、PDHID等多种检测器,是气体成分分离与定量分析的主力设备。
气体质谱仪:包括四极杆质谱和磁扇质谱,用于残余气体分析和复杂混合气体的全组分测定。
傅里叶变换红外光谱仪:配备长光程气体池,用于连续监测和多组分气体(如污染气体)的定量分析。
激光气体分析仪:基于TDLAS原理,可实现原位、在线、高选择性地测量特定气体(如NH3、HF)的浓度。
氧氮氢分析仪:专门用于固体材料中氧、氮、氢元素含量的精确测定,通常采用惰气熔融原理。
微量水分仪:包括库仑法、电容法、露点法等多种原理的仪器,用于测量气体或液体中极低的水分含量。
氦质谱检漏仪:高灵敏度的专用质谱仪,用于真空系统或密封器件的微小泄漏定位与定量检测。
非色散红外气体分析仪:利用气体对特定波长红外光的吸收进行测量,常用于CO、CO2等气体的在线分析。
化学发光分析仪:基于化学发光反应,对氮氧化物、臭氧等具有极高的选择性和灵敏度。
在线气体分析系统:集成采样、预处理、多通道分析仪和数据处理单元的成套系统,用于工业过程连续监控。
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