
真空漏率测试:测量在特定压差下,气体通过密封界面的体积流量,是评价密封性能最核心的指标。
材料放气率测试:评估密封材料本身在真空环境下释放吸附气体或挥发性物质的速率。
密封力衰减测试:监测在真空及温度循环下,维持密封所需的压紧力(如螺栓预紧力)的变化情况。
压缩永久变形测试:测定密封材料在长期受压和真空环境后,移除压力时其厚度不可恢复的变形量。
低温脆性测试:评估密封材料在真空伴随的低温工况下是否变脆、开裂或失效。
高温蠕变测试:考察密封材料在真空及高温下,在持续应力作用下发生的缓慢塑性变形。
真空环境耐介质测试:检验密封件在真空与特定介质(如润滑油、冷却剂)共同作用下的相容性与性能保持率。
密封界面形貌分析:试验前后对密封接触表面进行微观观察,分析磨损、压痕、腐蚀等形貌变化。
真空热循环寿命试验:模拟真空环境下的温度周期性变化,评估密封结构在热应力下的疲劳寿命。
真空环境启闭循环测试:模拟设备在真空中的重复开启与闭合,评估密封件的重复密封能力和磨损寿命。
金属密封圈:如不锈钢、因科镍合金等制成的C形、O形、刀口法兰等金属密封件。
弹性体密封圈:包括丁腈橡胶、氟橡胶、硅橡胶、全氟醚橡胶等制成的O形圈、垫片。
复合密封材料:如聚四氟乙烯填充改性材料、金属-橡胶复合垫片、柔性石墨缠绕垫等。
静密封法兰接口:涵盖各种真空法兰标准,如CF法兰、KF/QF法兰、ISO法兰的密封界面。
动密封旋转轴封:用于真空腔体旋转引入装置的磁流体密封、橡胶旋转轴唇形密封等。
直线运动密封:应用于真空直线运动机构的密封件,如波纹管、活塞杆密封。
电气穿墙密封件:用于真空与大气间电力、信号传输的密封连接器与馈通。
观察窗密封组件:真空室视窗玻璃或蓝宝石与金属法兰之间的密封结构。
阀门阀座密封副:真空阀门(如挡板阀、插板阀)中阀芯与阀座之间的关键密封部位。
焊接与钎焊缝:将真空密封视为整体时,对壳体焊缝的真空密封可靠性进行间接评估。
氦质谱检漏法:使用氦气作为示踪气体,通过质谱仪高灵敏度检测真空系统的微小漏孔,是标准定量检漏方法。
压力变化(压升)法:将被测件抽真空后隔离,监测其内部压力随时间上升的速率,以计算总漏率与放气率。
气泡检漏法(正压法):向密封件或腔体内部充入高压气体,浸入液体中观察是否有气泡逸出,用于粗检漏。
四极质谱残余气体分析法:分析真空腔内气体成分,区分是外部泄漏还是内部材料放气,辅助定位问题。
热真空循环试验法:在真空罐内进行高低温循环,模拟空间环境,综合考核密封件热匹配与疲劳性能。
密封力在线监测法:使用力传感器实时监测法兰螺栓预紧力或密封圈压缩反力在试验过程中的变化。
示踪气体累积测试法:将密封件置于特定示踪气体环境中,之后转移到真空系统检测其释放的示踪气体量。
光学干涉测量法:利用激光干涉仪测量密封面在真空及受力下的微观变形与平面度变化。
加速寿命试验法:通过施加高于正常工作条件的应力(如更宽温度范围、更高压力差),预测密封件在正常条件下的寿命。
剖面分析与硬度测试法:试验后将密封件剖开,测量其截面尺寸变化、硬度分布,评估材料内部老化情况。
氦质谱检漏仪:核心检漏设备,用于精确测量从大气侧向真空侧的氦气漏率,灵敏度极高。
真空系统(抽气机组):包括机械泵、分子泵或低温泵等,用于为被测件提供并维持所需的真空环境。
热真空试验箱:集成了真空系统与高低温温控系统的综合试验设备,用于模拟空间热真空环境。
残余气体分析仪:通常为四极杆质谱仪,用于实时分析真空腔内的气体成分与分压力。
高精度压力传感器与真空计:如电容薄膜规、电离规等,用于精确测量和记录真空度及压力变化。
螺栓预紧力/扭矩传感器:用于在线监测法兰连接中螺栓的轴向力或扭矩,评估密封力稳定性。
材料放气率测试装置:专用的小型真空腔与高灵敏度真空计组合,用于测量材料样品的放气特性。
高低温环境箱:可独立或与真空系统联用,提供精确的温度循环条件。
激光干涉仪/轮廓仪:用于非接触式测量密封表面的平整度、粗糙度及微观形变。
材料力学性能测试机:用于测试密封材料的压缩应力松弛、蠕变、拉伸强度等性能,可在环境箱中配合使用。
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