轮廓算术平均偏差Ra：在取样长度内，轮廓偏距绝对值的算术平均值，是评定表面粗糙度的最常用参数。
轮廓最大高度Rz：在一个取样长度内，最大轮廓峰高与最大轮廓谷深之和，反映表面的最大起伏。
轮廓单元的平均宽度RSm：轮廓微观不平度间距的平均值，用于评估表面纹理的疏密程度。
轮廓支承长度率Rmr(c)：在给定水平截面高度c上，轮廓的实体材料长度与评定长度的比率，与密封面的承载和密封性能直接相关。
轮廓偏斜度Rsk：表征轮廓幅度分布对称性的参数，正值表示轮廓峰居多，负值表示轮廓谷居多。
轮廓陡度Rku：描述轮廓幅度分布尖锐程度的参数，用于判断轮廓分布的峰态特征。
十点高度Rz(JIS)：日本标准中常用的参数，指在取样长度内，5个最大轮廓峰高的平均值与5个最大轮廓谷深的平均值之和。
轮廓微观不平度的平均间距Sm：轮廓微观不平度间距的平均值，与RSm类似，但定义和算法可能依据不同标准。
轮廓的单峰平均间距S：相邻轮廓单峰之间间距的平均值，反映表面纹理的周期性。
轮廓的总高度Rt：在评定长度内，轮廓最高峰顶线和最低谷底线之间的垂直距离。
金属静态密封面：如法兰面、端盖结合面等，其粗糙度直接影响垫片的压缩和密封效果。
机械密封动/静环端面：高速旋转机械的密封环工作面，要求极高的表面质量和特定的粗糙度以形成液膜。
阀门密封面：包括闸板、阀座等，粗糙度影响密封副的贴合度和磨损寿命。
液压与气动元件密封面：如缸筒端面、活塞杆密封区域，对防止介质泄漏至关重要。
发动机气缸盖与缸体结合面：需要精确的粗糙度控制以保证垫片密封的均匀性和可靠性。
航空航天密封结构件：如舱门、燃料系统密封面，在极端环境下对粗糙度有严苛要求。
橡胶O型圈沟槽表面：安装O型圈的金属沟槽底面和侧面，其粗糙度影响O型圈的密封性能和磨损。
泵壳与叶轮密封环表面：用于减少内部泄漏的密封环配合表面。
压缩机曲轴箱分型面：大型压缩机的分型结合面，面积大，要求整体粗糙度均匀。
制药与食品设备无菌接口密封面：要求极低的粗糙度以减少微生物藏匿，便于清洁和灭菌。
触针式轮廓法：使用金刚石触针划过表面，直接测量轮廓的垂直位移，是仲裁性的基准方法。
光学干涉法：利用光波干涉原理，通过干涉条纹分析表面形貌，属于非接触式高精度测量。
共聚焦显微镜法：利用共聚焦原理进行光学断层扫描，能获得高分辨率的三维表面形貌。
白光干涉仪法：一种垂直扫描干涉技术，可快速获取大面积、高精度的三维粗糙度数据。
激光散射法：通过分析激光在粗糙表面上的散射光强分布来间接评定粗糙度等级。
比较样块对照法：通过视觉和触觉与被检表面比较标准粗糙度样块，是一种快速、经济的定性或半定量方法。
印模法：对难以直接测量的表面（如内孔、软材料），使用塑性材料复制其形貌，再对印模进行测量。
电容法：利用探头与被测表面间电容的变化来反映间隙变化，从而评估粗糙度，适用于特定材料。
气动法：通过测量空气流过被测表面与测量头之间间隙的流量或背压来评估粗糙度。
在线实时监测法：集成在加工设备（如磨床、珩磨机）上的传感器，在加工过程中实时监控粗糙度变化。
触针式表面粗糙度测量仪：最经典的测量设备，配备金刚石触针、驱动器、传感器和数据处理单元。
白光干涉三维表面轮廓仪：非接触式光学测量设备，能提供全面的三维形貌和粗糙度参数分析。
激光共聚焦显微镜：结合显微镜成像与共聚焦扫描，实现微纳米级表面形貌的精确测量。
便携式粗糙度仪：小型化、电池供电的触针式仪器，适用于现场、大型工件或装配线上的检测。
粗糙度比较样块组：一套包含不同加工方法（如车、磨、铣）和不同Ra值的标准表面样块，用于比对。
圆度/轮廓测量仪：高精度坐标测量设备，可同时测量宏观几何轮廓与微观表面粗糙度。
扫描电子显微镜：用于进行表面形貌的极高倍数观察和定性分析，可结合能谱进行成分分析。
原子力显微镜：用于纳米尺度乃至原子尺度的表面形貌测量，分辨率极高。
在线粗糙度传感器：集成于生产线的测量模块，通常采用光学或气动原理，用于100%全检或过程控制。
深度测量显微镜：利用显微镜的微调焦装置，通过测量不同高度点来推算表面粗糙度。
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