四极质谱在真空泄漏检测

检测项目

真空腔体密封性测试、半导体镀膜设备漏率评估、航天器舱体渗透检测、低温超导系统密封验证、粒子加速器真空完整性监测、核聚变装置泄漏定位、医疗灭菌设备气密性检验、OLED蒸镀机漏点排查、光伏组件封装泄漏测试、超高真空分子泵组密封评估、空间模拟舱泄漏诊断、电子显微镜真空度维持测试、质谱仪自身真空系统校验、燃料电池双极板密封检测、锂电池封装完整性验证、真空炉热区漏气分析、镀膜玻璃生产线密封监测、工业管道微漏定位、真空阀门启闭密封测试、低温液体储罐绝热层检漏、同步辐射光束线真空维持评估、X射线管真空度衰减分析、半导体刻蚀机反应腔检漏、MEMS封装气密性测试、卫星推进剂贮箱泄漏监测、航空发动机燃油系统密封测试、核电站主泵机械密封评估、制药冻干机真空失效诊断、科研托卡马克装置漏率控制、纳米材料制备系统真空维持验证

检测范围

不锈钢焊接法兰、铝制真空腔体O型圈密封面、陶瓷馈通电极组件、玻璃-金属封接界面、分子泵进气口法兰、波纹管伸缩节连接处、超高真空角阀阀杆密封部、冷阱冷凝盘管焊缝、离子源安装基座平面度缺陷区、磁流体旋转密封装置过渡区、低温泵再生管路接头处、束流管道波纹管补偿器焊缝缺陷区束流准直器水冷通道密封面束流诊断元件安装法兰束流挡板驱动轴动密封区束流收集器冷却水管接口加速管陶瓷绝缘环安装面波导窗钎焊连接处超导腔体高频耦合器安装座低温恒温器多层绝热材料接缝处空间望远镜镜筒法兰连接部卫星太阳翼展开机构密封面深空探测器推进剂管路焊缝月球车电机舱体铸造缺陷区火星探测器大气采样阀接口空间站生命维持系统管路接头

检测方法

1.氦气示踪法：向被测系统外喷射氦气，通过四极质谱监测系统内氦分压变化确定泄漏位置与速率2.分压力分析法：建立特定质量数（如H2-2/He-4）的分压比模型区分背景气体与泄漏气体3.累积测试法：关闭被测系统后持续监测指定质量数信号随时间的变化率计算漏率4.动态流量法：结合标准漏孔校准建立分压信号与泄漏流量的对应关系5.多组分关联分析：同步监测H2O/N2/O2/Ar等本底气体变化辅助判断泄漏路径6.脉冲模式检测：采用周期性氦气喷射配合锁相放大技术提升信噪比7.三维扫描定位：通过机械臂控制喷枪移动实现复杂几何结构泄漏点的空间定位8.温度梯度法：利用热膨胀系数差异诱发泄漏路径显化提升微漏检出率9.同位素标记法：使用氪-85等放射性示踪气体实现特殊工况下的泄漏识别10.残余气体分析（RGA）：建立系统本底谱图数据库实现异常气体成分的快速识别

检测标准

GB/T32218-2015质谱检漏仪校准规范ISO3530:2019真空技术-质谱型检漏仪的校准ASTME908-2018使用参考漏孔校准泄漏的标准实践EJ/T20148-2016核级设备氦质谱检漏技术要求GJB360B-2009电子及电气元件试验方法（方法112密封试验）MIL-STD-750-3半导体器件试验方法（方法1071细检漏）SEMIF73-0708真空处理设备氦泄漏测试指南ASMEBPVC.V-2019第V卷无损检测（第10章泄漏试验）EN1779:1999无损检测-泄漏检测-气泡排放技术适用性标准JISZ2331:2018氦质谱检漏试验方法

检测仪器

1.四极杆质谱仪：核心部件包含电子轰击离子源（EI）、质量过滤器及法拉第杯/电子倍增器双模式探测器，质量范围1-300amu，最小可检漏率110^-12Pam/s2.氦气喷枪：配备精密流量控制模块和可更换喷嘴（0.5mm/1.0mm/扇形），工作压力0.1-0.3MPa3.标准漏孔：渗透型（玻璃-铂）与通道型（毛细管）两类，标定范围110^-5~110^-10Pam/s4.真空校准系统：含分子泵组（抽速3000L/s）、电容薄膜规（量程10^-5~1000Pa）及温控标准室5.三维机械扫描平台：重复定位精度0.01mm，最大行程2000mm1500mm1000mm6.数据采集系统：同步记录质量数信号强度（16bitADC）、空间坐标及环境参数（温度/压力）7.残余气体分析模块：配备闭环涡轮分子泵（抽速60L/s）和前级干泵组成的独立采样系统8.低温冷阱：采用液氮制冷（77K）或机械制冷（20K）用于捕集油蒸气等干扰物质

检测服务流程

沟通检测需求：为精准把握客户需求，我们会仔细审核申请内容，与客户深入交流，精准识别样品类型、明确测试要求，全面收集相关信息，确保无遗漏。

签订协议：根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节，为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。

样品前处理：收到样品后，开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员，科学严谨对待每个细节，保证前处理规范准确。

试验测试：此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品，实验设计与操作均遵循科学标准，保障测试结果准确且可重复。

出具报告：测试结束立即生成详尽检测报告，经严格审核确保结果可靠准确，审核通过后交付客户。

我们秉持严谨踏实的态度，提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯，严格遵守保密协议，保障客户满意度与信任度。