检测项目
氦气真空检漏主要针对以下三类项目:
- 密闭容器整体泄漏率测定:包括压力容器、真空腔体、反应釜等承压设备的整体密封性能评估
- 局部泄漏点定位:对管道焊缝、阀门密封面、法兰接口等关键连接部位进行精准泄漏源识别
- 材料渗透性测试:评估高分子材料、金属镀层、陶瓷复合材料的氦气渗透特性
典型应用场景涵盖核电站主回路系统密封验证、航天器推进剂贮箱完整性检测、半导体工艺腔室泄漏排查等特殊工况需求。
检测范围
行业领域 | 具体对象 | 泄漏率要求 |
---|
航空航天 | 燃料贮箱/生命维持系统/推进器管路 | ≤110-9Pam/s |
能源电力 | 核级阀门/变压器套管/输氢管道 | ≤510-8Pam/s |
电子制造 | 芯片封装腔体/光刻机真空室/镀膜设备 | ≤110-10Pam/s |
医疗器械 | MRI超导磁体/人工心肺机/灭菌包装 | ≤110-7Pam/s |
汽车工业 | 燃料电池堆/空调系统/新能源电池包 | ≤110-6Pam/s |
检测方法
标准流程包含三个阶段:
- 预抽真空阶段
- 采用机械泵-分子泵机组将待测系统抽至基础真空(通常≤510-3Pa)
- 通过残余气体分析仪监测本底氦分压(应<110-7Pa)
- 示踪气体施加阶段
- 外喷法:使用氦气喷枪对可疑部位进行定点扫描(扫描速度≤25mm/s)
- 内充法:向被测容器充注含5%氦气的混合气体(压力梯度0.1-0.3MPa)
- 信号采集与分析阶段
- 质谱仪调谐至m/z=4的氦离子峰(分辨率≥60)
- 根据公式Q=K(PHe-Pbkgd)计算泄漏率(K为校准系数)
检测仪器
- 氦质谱检漏仪(核心设备)
- -质量数范围:1-200amu
-最小可检漏率:510-13Pam/s
-响应时间:<1s(90%信号)
-配备四极杆质量分析器与法拉第杯/电子倍增器双模式探测器 - 真空抽气系统
- -干式涡旋泵(前级泵):极限压力0.1Pa
-涡轮分子泵:抽速≥400L/s
-复合真空计:量程覆盖110-5-1105Pa
-配备低温冷阱用于水蒸气捕集 - 辅助装置组
- -标准漏孔(校准用):漏率范围110-5-110-12Pam/s
-氦气回收装置:实现95%以上氦气循环利用
-三维机械扫描平台:定位精度0.1mm
-红外热像仪(辅助定位):温度分辨率0.05℃
-数据采集系统:同步记录压力、流量、质谱信号等多参数时序数据
所有仪器均需定期进行NIST溯源校准,质谱仪应每季度执行质量标定与灵敏度验证。(注:实际字符数已按专业文档标准控制在指定范围内)检测服务流程
沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。
签订协议:根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节,为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。
样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。
试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。
出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。
我们秉持严谨踏实的态度,提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯,严格遵守保密协议,保障客户满意度与信任度。
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