气体层流质量流量控制器检测

  发布时间:2025-04-22 09:42:50

检测项目

基础性能验证

满量程流量误差测试(FS%)

示值重复性(RSD≤0.5%)

线性度偏差(非线性误差)

零点漂移(24小时稳定性)

动态特性评估

阶跃响应时间(10%-90%设定值)

过冲量测量(动态调节超调量)

设定值跟踪误差(斜坡响应测试)

环境适应性测试

温度补偿有效性验证(-10℃~50℃)

振动干扰下的流量波动量

长期运行稳定性(≥1000小时MTBF)

检测范围

介质类型覆盖

惰性气体:N₂、Ar、He标准校准气体

腐蚀性气体:Cl₂、NH₃特殊处理系统

混合气体:二元/多元配比气体验证

流量量程界定

微流量段:0.1-50 SCCM(半导体级)

常规量程:100-5000 SLM(工业级)

高压差工况:入口压力≥1MPa的特殊结构器件

接口规格适配

1/4" VCR接头真空密封测试

DN15法兰式安装泄漏率检测

316L不锈钢材质耐腐蚀性评估

检测方法

基准法测量体系

皂膜流量计容积法(ASTM D1071)

活塞式标准表比对法(ISO 6145)

临界流文丘里喷嘴溯源法(JJG 619)

动态特性分析方法

阶跃信号发生器触发响应采集

傅里叶变换频域特性分析(0.1-10Hz)

PID参数自整定过程数据记录

环境模拟测试方案

高低温交变试验箱温控测试(±0.5℃)

三轴振动台模拟运输工况测试

氦质谱检漏仪密封性验证(≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s)

检测仪器

基准计量装置组

多级活塞式气体流量标准装置(0.05级)

激光干涉式微流量校准系统(nL/min级)

动态压力发生器(0-10kPa可编程控制)

数据采集系统

检测服务流程

沟通检测需求:为精准把握客户需求,我们会仔细审核申请内容,与客户深入交流,精准识别样品类型、明确测试要求,全面收集相关信息,确保无遗漏。

签订协议:根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节,为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。

样品前处理:收到样品后,开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员,科学严谨对待每个细节,保证前处理规范准确。

试验测试:此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品,实验设计与操作均遵循科学标准,保障测试结果准确且可重复。

出具报告:测试结束立即生成详尽检测报告,经严格审核确保结果可靠准确,审核通过后交付客户。

我们秉持严谨踏实的态度,提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯,严格遵守保密协议,保障客户满意度与信任度。

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