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粒子束聚焦分析检测

点击数: - 发布时间:2020-11-25 15:19:55

粒子束聚焦分析检测去哪做?中化所科研实验室,可以为您提供粒子束聚焦分析检测服务,出具原始数据报告,支持全国范围扫码查询。

粒子束聚焦分析检测

检测项目:

粒子束聚焦分析、失效分析、显微观测等

样品范围:

微电子材料、亚微米级器件等

检测周期:7-15个工作日

推荐项目:指标检测、性能测试、理化性能、成分分析等

相关介绍

聚焦离子束系统是一种将微分析和微加工相结合的新技术,在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用,聚焦离子束的精确定位、显微观测和细微加工功能大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析的精度和速度, 目前已成为失效分析的一大利器。

相关标准

GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

ISO 16531-2013 表面化学分析.深度剖析.原子发射光谱(AES)和光电子能谱(XPS)中深度剖析用电流或电流密度的离子束校正和相关测量方法

ASTM E1577-2011 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南

ASTM E684-2004 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程

ASTM E1577-2004 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南

检测报告注意事项

1、报告无“研究测试专用章”或公章无效,报告无防伪二维码无效;

2、复制报告未重新加盖“研究测试专用章”或公章无效

3、报告无主检、审核、批准人签字无效

4、报告涂改无效

5、对检测报告若有异议,应于收到报告之日起十五日内提出,逾期不予受理;

6、送样委托检测,仅对来样负责。

本文网址http://test.yjssishiliu.com/qitajiance/1879.html

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