半导体老化性能快速检测

检测项目

电迁移失效分析、热载流子注入效应、栅氧层击穿电压、界面态密度变化、漏电流漂移、阈值电压偏移、导通电阻退化率、结温循环耐受性、键合线疲劳强度、塑封料吸湿膨胀系数、焊球剪切力衰减、金属间化合物生长速率、介电层TDDB特性、BGA焊点蠕变性能、离子迁移率变化率、热阻值上升幅度、闩锁效应临界值、ESD防护能力降级率、光衰特性（LED器件）、迁移率-温度相关性、接触电阻稳定性、寄生电容漂移量、反向恢复时间延长率、雪崩击穿能量耐受度、动态导通损耗增幅、开关频率响应劣化率、EMI噪声频谱变化、晶格缺陷扩散系数、钝化层裂纹扩展速率、三维封装翘曲度

检测范围

硅基功率MOSFET、IGBT模块、GaNHEMT器件、SiC肖特基二极管、BGA封装CPU、QFN封装射频芯片、TSV三维集成芯片、MEMS加速度传感器、CIS图像传感器、DRAM存储器单元、NAND闪存晶圆、LED外延片、光伏电池单元、射频LDMOS晶体管、汽车电子ECU控制芯片、航天级抗辐射FPGA、光通信激光二极管、智能功率模块(IPM)、TFT-LCD驱动IC、微波毫米波MMIC、生物医疗传感器芯片、车规级AEC-Q100认证器件、工业级PLC控制芯片、5G基站PA芯片、物联网NB-IoT模组、北斗导航射频前端模块、超算服务器GPU芯片、柔性显示驱动IC、氢能源燃料电池控制IC

检测方法

高温反偏试验（HTRB）：在额定反向电压下施加125-175℃高温环境持续1000小时以上，监测漏电流变化趋势；
高加速应力测试（HAST）：采用130℃/85%RH条件进行96小时高压蒸汽试验，评估塑封器件耐湿气渗透能力；
温度循环试验（TCT）：在-65℃至+150℃间进行1000次快速温变循环，通过扫描声学显微镜（SAM）观测分层缺陷；
功率循环测试（PCT）：对功率器件施加周期性负载电流引发结温波动，记录热阻参数退化曲线；
时域介电击穿测试（TDDB）：在栅氧层施加恒定电场直至击穿，通过威布尔分布统计寿命模型；
扫描电子显微镜（SEM）失效分析：对失效部位进行5nm分辨率微观形貌观测，定位金属迁移或晶须生长位置；
二次离子质谱（SIMS）：深度剖析掺杂元素分布变化，检测高温老化后的杂质扩散现象；
X射线衍射（XRD）：分析焊料合金IMC相变过程及晶格常数变化；
红外热成像（IR）：非接触式测量芯片表面温度场分布异常区域；
聚焦离子束（FIB）截面制备：制作纳米级精度的横截面样品用于透射电镜（TEM）原子级缺陷观测

检测标准

IEC60749-25:2021半导体器件机械和气候试验方法-温度循环；
JEDECJESD22-A108E温度湿度偏压寿命试验；
MIL-STD-883KMETHOD1015稳态寿命试验程序；
GB/T4937-2023半导体器件机械和气候试验方法；
AEC-Q100RevH汽车电子委员会可靠性验证标准；
JESD22-A110E高加速温湿度应力测试(HAST)；
IPC-9701A表面贴装焊点可靠性测试指南；
IEC62374-1功率循环测试标准；
JESD22-B117带电器件模型(CDM)静电放电测试；
GJB548C-2021微电子器件试验方法

检测仪器

高低温湿热试验箱：提供-70℃~+180℃温变范围与10%~98%RH湿度控制能力；
快速热循环系统：实现每分钟15℃以上的升降温速率；
半导体参数分析仪：支持pA级电流分辨率与200V高压输出功能；<br】三维形貌测量激光共聚焦显微镜：实现0.1nm纵向分辨率的表面粗糙度分析；<br】能量色散X射线谱仪（EDX）：配合SEM进行元素成分面分布分析；<br】微欧姆计：测量键合线电阻变化至0.1mΩ精度；<br】红外热像仪：具备3μm空间分辨率与1℃温度精度；<br】动态力学分析仪（DMA）：表征封装材料储能模量随温度变化曲线；<br】原子力显微镜（AFM）：纳米级表面电势与导电性分布测量；<br】声发射监测系统：实时捕捉封装开裂过程的应力波信号

检测服务流程

沟通检测需求：为精准把握客户需求，我们会仔细审核申请内容，与客户深入交流，精准识别样品类型、明确测试要求，全面收集相关信息，确保无遗漏。

签订协议：根据沟通确定的检测需求及商定的服务细节，为客户定制包含委托书及保密协议的个性化协议。后续检测严格依协议执行。

样品前处理：收到样品后，开展样品预处理、制样及标准溶液制备等前处理工作。凭借先进仪器设备和专业技术人员，科学严谨对待每个细节，保证前处理规范准确。

试验测试：此为检测核心环节。运用规范实验测试方法精确检测每个样品，实验设计与操作均遵循科学标准，保障测试结果准确且可重复。

出具报告：测试结束立即生成详尽检测报告，经严格审核确保结果可靠准确，审核通过后交付客户。

我们秉持严谨踏实的态度，提供高品质、专业化检测服务。服务全程可追溯，严格遵守保密协议，保障客户满意度与信任度。