半导体单晶晶向测定

半导体单晶晶向测定找什么单位做?检测项目及标准有哪些?检测报告办理费用是多少?中析研究所是一家集检测、检验、测试及技术服务为一体的科学、严谨、公正的综合性第三方检测机构，拥有国际一线的检测仪器设备，致力于为客户的生产加工、内销、外贸进出口提供一站式检验测试方案。

检测方法

劳厄背反射法：用单色 X 射线照射单晶体，晶体中各晶面族对 X 射线产生衍射，在底片上形成劳厄斑点。根据斑点的分布和对称性可确定晶向。

旋转晶体法：单晶样品绕某一轴旋转，用单色 X 射线照射，晶面族与 X 射线的夹角不断变化，满足布拉格条件时产生衍射，通过测量衍射角和旋转角度来确定晶向。

电子背散射衍射法(EBSD)：当电子束照射到样品表面时，产生的背散射电子与晶体中的原子相互作用，形成菊池线。菊池线的分布与晶体的晶向有关，通过分析菊池线来确定晶向。

激光拉曼光谱法：激光照射到半导体单晶上，产生拉曼散射。不同晶向的晶体，其拉曼散射峰的强度和频率会有所不同，通过分析拉曼光谱来确定晶向。

X 射线衍射仪法：利用 X 射线在晶体中的衍射现象，当 X 射线照射到单晶样品时，满足布拉格定律的晶面会产生衍射峰。通过测量衍射峰的角度和强度，结合晶体结构信息，计算出晶向。

检测范围

硅、锗、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、氧化锌、硫化镉、硒化锌、碲化镉、锑化铟、铝镓砷、铝铟磷、镓铟砷、镓铟磷、铟镓氮、硅锗合金、碳化硅锗、氮化铝、氮化硼、金刚石、氧化亚铜、硫化铅、硒化铅、碲化铅、碘化铅、溴化铅、氯化铅、碘化银、溴化银、氯化银、氧化铜、氧化锡、氧化铟锡、钛酸钡、锆钛酸铅、铌酸锂、钽酸锂、砷化铝、砷化铟、磷化镓、磷化铝、硫化锌镉、硒化镉汞、碲化汞镉等。

相关检测标准

GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法

GB/T 39137-2020 难熔金属单晶晶向测定方法

GB/T 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法

SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法

HB 7762-2005 航空发动机用定向凝固柱晶和单晶高温合金锭规范

ANSI/ASTM D6058-2001 工作环境空气中单晶陶瓷须晶浓度测定惯例

SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

相关介绍

为了消除多晶材料中各小晶体之间的晶粒间界对半导体材料特性参量的巨大影响，半导体器件的基体材料一般采用单晶体。单晶制备一般可分大体积单晶(即体单晶)制备和薄膜单晶的制备。体单晶的产量高，利用率高，比较经济。但很多的器件结构要求厚度为微米量级的薄层单晶。由于制备薄层单晶所需的温度较低，往往可以得到质量较好的单晶。

检测报告注意事项

1、报告无“研究测试专用章”或公章无效，报告无防伪二维码无效;

2、复制报告未重新加盖“研究测试专用章”或公章无效;

3、报告无主检、审核、批准人签字无效;

4、报告涂改无效;

5、对检测报告若有异议，应于收到报告之日起十五日内提出，逾期不予受理;