XPS测试需要注意些什么?检测标准有哪些?费用是多少?中析检测研究所实验室可依据相关标准制定试验方案。对块状、薄膜、粉末等样品进行检测分析。并出具严谨公正的检测报告。
XPS-可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息;
XPS按元素个数收费(需要包含必测元素C，不能测试H、He元素);一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素;一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置;
XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号;
测试默认单色化Al靶(Al Kα source)，能量1486.68eV。
样品状态：要求块状、薄膜、粉末样品;
粉末样品：至少10mg;
块状/薄膜样品：尺寸小于10*10*3mm，最佳尺寸小于5*5*2mm;需标记好测试面;
注意：液体样品需制好样干燥后再寄送，易氧化的样品建议手套箱制样，也请抽真空后送样;XPS是高真空环境测试的，所以要求样品要充分干燥，易吸湿样品请提前说明;不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品;块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样，接触空气容易受C、N、O、Si等元素污染，测试结果可能会有误差。
GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
GB/T 33502-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱(XPS)数据记录与报告的规范要求
GOST R ISO 16243-2016 确保测量一致性的国家系统. 表面化学分析. X射线光电子能谱 (XPS) 的记录和报告数据
ISO 16531-2013 表面化学分析.深度剖析.原子发射光谱(AES)和光电子能谱(XPS)中深度剖析用电流或电流密度的离子束校正和相关测量方法
ISO 16531:2013 表面化学分析——深度剖面——用于AES和XPS深度剖面的离子束对准和相关电流或电流密度测量方法
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
1、评定产品质量的好坏;
2、判断产品质量等级，即缺陷严重程度;
3、对工艺流程进行检验和工序质量的监督;
4.对质量数据进行搜集统计与分析，以便为质量改进与质量管理活动的开展奠定基础;
5.引入仲裁检验判断质量事故责任。
1.报告中没有“研究测试专用章”和公章，报告没有防伪二维码无效;
2.复制的报告不复盖“研究测试专用章”或者公章无效;
3.报告没有主检，审查，审批人员签名无效;
4.涂改报告无效的;
5.检测报告如有异议，应当在收到报告后15日内提出，逾期不予受理;
