硅片检测标准

  2020-08-12

GB/T 6616-2009半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

GB/T 6617-2009硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法

GB/T 6619-2009硅片弯曲度测试方法

GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T 6621-2009硅片表面平整度测试方法

GB/T 11073-2007硅片径向电阻率变化的测量方法

GB/T 12965-2018硅单晶切割片和研磨片

GB/T 13388-2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

GB/T 16595-2019晶片通用网格规范

GB/T 19444-2004硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法

GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接触式标准测试方法

GB/T 24577-2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

GB/T 24578-2015硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 25076-2018太阳能电池用硅单晶

GB/T 26067-2010硅片切口尺寸测试方法

GB/T 26068-2018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

GB/T 26069-2010硅退火片规范

GB/T 26071-2018太阳能电池用硅单晶片

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