石英玻璃晶圆检测一般检测什么项目?检测标准有哪些?费用是多少?中析检测研究所实验室可依据相关标准制定试验方案。对井弯曲度、翘曲度、尺寸偏差、表面粗糙度等项目进行检测分析。并出具严谨公正的石英玻璃晶圆检测报告。
平整度、弯曲度、翘曲度、尺寸偏差、表面粗糙度、内应力检测、条纹检测、颗粒不均匀性、杂质元素含量测定等。
光刻用石英玻璃晶圆等。
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
O?/T 3284-2015石英玻璃化学成分分析方法
GB/T 5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法
GB/T 32189氨化家单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
JC/T185光学石英玻璃
JC/T 655石英玻璃制品内应力检验方法
1、报告无“研究测试专用章”或公章无效，报告无防伪二维码无效;
2、复制报告未重新加盖“研究测试专用章”或公章无效;
3、报告无主检、审核、批准人签字无效;
4、报告涂改无效;
5、对检测报告若有异议，应于收到报告之日起十五日内提出，逾期不予受理;
