多晶硅检测

  2023-07-26

中析检测研究所实验室能够按照相关标准规范,为客户提供多晶硅检测服务,制定专属试验方案,能够对电子级多晶硅、太阳能级多晶硅、动力级多晶硅、柱状多晶硅等产品进行晶粒尺寸、晶界密度、电导率、电子迁移率、载流子浓度等项目的检测和分析。一般来说,多晶硅检测报告的出具需要7-10个工作日。

多晶硅是一种由纯度较高的硅原料制备的多晶结构硅材料。它是硅太阳能电池、集成电路和其他半导体器件的重要原材料之一。多晶硅的制备通常通过化学汽相沉积(CVD)或熔融法进行。在化学汽相沉积中,硅原料(通常为硅氢化物)在高温条件下分解,并在衬底上形成多晶硅层。而在熔融法中,硅原料经过高温熔化,然后逐渐冷却凝固形成多晶硅块。

检测项目

杂质含量、晶粒尺寸、晶界密度、电导率、电子迁移率、载流子浓度、杂质浓度、晶片厚度、晶体缺陷密度、电池效率、光吸收系数、光漏损、表面粗糙度、电阻率、热导率、热膨胀系数、耐热性、机械强度、抗蚀性、结晶度等。

检测范围

电子级多晶硅:电子级多晶硅是用于制造高性能半导体器件的最高纯度的多晶硅材料。它通常具有极低的杂质含量,如金属杂质和有毒杂质,以确保器件的电学性能和稳定性。

太阳能级多晶硅:太阳能级多晶硅主要用于太阳能电池的制造。它的纯度要求相对较低,但仍需要满足一定的电池效率和可靠性要求。太阳能级多晶硅通常以较低的成本生产,以满足大规模太阳能产业的需求。

动力级多晶硅:动力级多晶硅是用于制造电力电子器件、功率模块和高压设备的多晶硅材料。它的纯度要求介于电子级多晶硅和太阳能级多晶硅之间,以满足高功率和高电压应用的需要。

柱状多晶硅:柱状多晶硅是一种特殊形态的多晶硅,其晶粒结构呈现类似于单晶硅的柱状结构。柱状多晶硅通常具有较大的晶粒尺寸和较低的晶界密度,具备较好的电学性能和机械强度。

多晶硅检测

参考标准规范

GB/T 12963-2022 电子级多晶硅

YS/T 724-2016 多晶硅用硅粉

T/ZZB 1041-2019 多晶硅太阳电池

GB/T 25074-2010 太阳能级多晶硅

DB13/T 1632-2012 太阳能级多晶硅块

DB13/T 1631-2012 太阳能级多晶硅锭

T/NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅

GB/T 25074-2017 太阳能级多晶硅

DB13/T 1633-2012 太阳能级多晶硅片

DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅

测试方法

多晶硅的载流子浓度是指材料中自由电子或空穴的浓度。以下是几种常用的多晶硅载流子浓度检测方法:

Hall效应测量:使用霍尔效应原理,通过在多晶硅材料中施加一定电流和磁场,测量霍尔电压和电流密度,从而计算出载流子浓度。

电导率测量:通过测量多晶硅材料的电阻率,并用电导率和载流子迁移率的关系进行计算,推导出载流子浓度。

结版法:在多晶硅薄膜上制作不同面积的电极,测量不同电阻值,然后根据电阻和载流子迁移率的关系推导出载流子浓度。

微小电容法:通过测量多晶硅材料的微小电容以及频率响应,利用电容与载流子浓度之间的关系推导出载流子浓度。

基于荧光法:利用荧光探针或荧光探测技术,通过与载流子反应产生荧光信号的方式来检测多晶硅的载流子浓度。

试验仪器

以下是常用于多晶硅检测的仪器和设备:

多晶硅控制变温电阻测量系统:这是一种专门用于测量多晶硅电阻率的仪器。它能够提供精确的电阻测量结果,并可在不同温度下进行测量,以研究多晶硅热电性质和载流子浓度。

载流子浓度测量系统:这类仪器主要用于测量多晶硅样品的载流子浓度。它们通过采用不同的测量原理,如霍尔效应、电导率测量等,实现对多晶硅中载流子浓度的准确测量。

多晶硅材料显微镜:这种显微镜具有高分辨率和放大功能,可以对多晶硅材料进行表面缺陷、晶粒大小和晶界密度等方面的观察和分析。

多晶硅光谱分析仪:这类仪器用于对多晶硅材料的光吸收和光发射进行分析。它们可以提供关于多晶硅能带结构和光学性质的重要信息,对太阳能电池等光电器件的研发非常有价值。

多晶硅热膨胀系数测试仪:这种仪器可以测量多晶硅材料随温度变化时的线膨胀系数。由于多晶硅在温度变化时会发生膨胀或收缩,这些数据对于设计和制造多晶硅器件非常重要。

多晶硅粒度分析仪:它使用粒度分析原理,通过测量粒子的大小分布来确定多晶硅样品中晶粒的尺寸。这对于评估多晶硅晶粒生长过程和材料质量具有重要意义。

多晶硅电化学腐蚀试验仪:这类仪器通过在特定环境下测量多晶硅样品的电化学行为来评估其抗蚀性能。它可以分析多晶硅材料在不同条件下的耐腐蚀性能,用于材料的质量控制和表面处理优化。

  

检测服务流程

沟通检测需求:为确保我们全面了解客户的需求,我们会仔细审核申请内容并与客户进一步沟通,识别样品类型、测试要求和其他需要考虑的信息。

签订协议:我们将根据沟通中明确的检测需求和双方商定的服务细节,为客户制定个性化协议并进行委托书及保密协议。我们将严格按照协议要求进行检测。

样品前处理,我们会对样品进行必要的前处理,包括样品前处理、制样和标准溶液的制备。我们使用行业领先的仪器和设备,以及高素质的技术人员进行处理,以确保每一个细节都做到科学严谨。

试验测试:测试阶段是我们检测流程中最为重要的一环。我们使用严格的实验测试,确保我们的测试结果具有准确性和可重复性。

出具报告:当测试结束后,我们会生成详尽的检测报告并进行审核,以保证检测结果的可靠性和准确性。

我们秉持着严谨踏实的态度,为客户提供最高水准的服务。我们采用流程全程可追溯的方式,并保证客户信息的保密,以确保客户的满意度和信任。

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